[实用新型]金刚石基抗划伤复合基板有效
| 申请号： | 202020867259.7 | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN213652633U | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 何斌;黄江涛;曹海涛;韩培刚;段文红;苏耀荣;周双 | 申请（专利权）人： | 深圳技术大学 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/02;H04M1/02 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 周琼 |
| 地址： | 518118 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金刚石 划伤 复合 | ||
【权利要求书】：
1.一种金刚石基抗划伤复合基板，其特征在于，包括：依次堆叠的基板，籽层和碳层，其中，在所述基板上形成多个凹部，用以沉积籽层，其中，多个所述凹部与所述基板的面积比例为20％-80％，所述凹部的宽度为30-2000nm，相邻所述凹部的间距为30-2000nm。
2.如权利要求1所述的复合基板，其特征在于，所述籽层的厚度为2-15nm。
3.如权利要求1所述的复合基板，其特征在于，所述碳层为含有金刚石结构的涂层。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
