[实用新型]一种偏振均匀平行光产生装置及自动光学检测系统

权利要求书

1.一种偏振均匀平行光产生装置，其特征在于，包括光源、光束均匀与平行组件、第一起偏器、半透半反镜和第二起偏器；

所述光束均匀与平行组件、第一起偏器、半透半反镜依次设置在光源出射光束的光路上，所述第二起偏器位于半透半反镜远离所述第一起偏器的一侧且与第一起偏器垂直设置；

所述光束均匀与平行组件对光源出射光束进行处理后形成照度均匀的平行光；所述平行光透过所述第一起偏器后形成线偏振光，射向所述半透半反镜的所述线偏振光经反射后垂直照射在待测物品的表面；

该线偏振光与待测物品的表面缺陷作用后产生偏振态发生变化的散射光，与待测物品的表面作用后产生偏振态未变化的镜面反射光；所述散射光和镜面反射光经过半透半反镜后射向第二起偏器，该第二起偏器的偏振方向被配置为与第一起偏器呈90°，用以滤除镜面反射光且允许散射光通过。

2.如权利要求1所述的偏振均匀平行光产生装置，其特征在于，所述半透半反镜与第一起偏器、第二起偏器之间的夹角为45°。

3.如权利要求1所述的偏振均匀平行光产生装置，其特征在于，所述光束均匀与平行组件包括光源出射光束的光路上依次设置的光源收集透镜、第一菲涅尔透镜和第二菲涅尔透镜；

所述光源收集透镜对光源出射光束进行会聚后射向第一菲涅尔透镜，经过第一菲涅尔透镜得到均匀光，所述均匀光经第二菲涅尔透镜处理后得到照度均匀的平行光。

4.如权利要求1所述的偏振均匀平行光产生装置，其特征在于，所述光源包括至少两种颜色的发光体，通过控制不同颜色的发光体的开闭和/或工作电流来调节光源输出的光束的颜色。

5.如权利要求1所述的偏振均匀平行光产生装置，其特征在于，还包括呈“凸”字型的外壳，光源、光束均匀与平行组件、第一起偏器和半透半反镜设置在所述外壳的内部，构成光源出射光束的第一传输通道；第二起偏器设置在外壳的一端面上，其与半透半反镜构成散射光和镜面反射光的第二传输通道，所述第二传输通道与第一传输通道相互垂直。

6.如权利要求5所述的偏振均匀平行光产生装置，其特征在于，所述外壳的内表面采用锯齿结构且涂覆有黑色图层，用以吸收杂散光。

7.如权利要求5所述的偏振均匀平行光产生装置，其特征在于，还包括无色透明的护盖板，所述护盖板设置在外壳上与第二起偏器相对的另一端面上。

8.如权利要求5所述的偏振均匀平行光产生装置，其特征在于，所述第一、第二起偏器采用可插拔的方式安装在外壳的内部。

9.如权利要求1所述的偏振均匀平行光产生装置，其特征在于，还包括散热机构，所述散热机构设置于光源非发光面的一侧，用于吸收并释放光源在工作过程中产生的热量。

10.一种自动光学检测系统，其特征在于，包括权利要求1～9任一项所述的偏振均匀平行光产生装置，还包括图像采集器；所述图像采集器设置于第二起偏器的上方，通过捕获从第二起偏器中出射的散射光成像。