[实用新型]固晶设备有效

专利信息
申请号: 202020869192.0 申请日: 2020-05-21
公开(公告)号: CN211980586U 公开(公告)日: 2020-11-20
发明(设计)人: 胡新荣 申请(专利权)人: 中山市新益昌自动化设备有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/67;H01L21/687;H01L33/48
代理公司: 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 代理人: 陈延侨
地址: 528400 广东省中山*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 设备
【权利要求书】:

1.一种固晶设备,其特征在于,包括:

传送装置(100),用于驱动基板从前往后移动,且依次经过进板工位(101)、固晶工位(102)、出板工位(103);

供料装置(200),包括晶环(210)、晶环储料组件(220)、晶环移动组件(230)、晶框移动组件(240)以及顶针组件(250),所述晶环(210)上设有粘附有至少一个晶片的薄膜,所述晶环储料组件(220)用于存储至少一个所述晶环(210),所述晶环移动组件(230)用于在所述晶环储料组件(220)和所述晶框移动组件(240)之间搬运所述晶环(210),所述晶框移动组件(240)带动所述晶环(210)相对所述顶针组件(250)平移,所述顶针组件(250)在与一所述晶片对应时能够将该晶片从所述薄膜顶起;

至少两个固晶装置(300),各所述固晶装置(300)沿前后方向相对设置,且均设置于所述固晶工位(102),其中,所述固晶装置(300)包括至少两个固晶单元(310),各所述固晶单元(310)从所述供料装置(200)获取晶片,并分别固定在所述基板不同区域固晶,所述固晶单元(310)包括邦头机构(311)、与所述邦头机构(311)连接的位移驱动机构(312),所述邦头机构(311)能够在所述供料装置(200)处抓取多个晶片并在所述固晶工位(102)处固定晶片,所述位移驱动机构(312)用于驱动所述邦头机构(311)在所述供料装置(200)和所述固晶工位(102)之间往复移动。

2.如权利要求1所述的固晶设备,其特征在于,所述邦头机构(311)包括邦头安装板(3100)以及至少两个均安装于所述邦头安装板(3100)的固晶邦头(3200),其中,所述固晶邦头(3200)包括固晶吸嘴(3210)、联动块(3220)、固晶驱动器(3230)以及电机安装座(3240),所述电机安装座(3240)连接于邦头安装板(3100),所述固晶吸嘴(3210)用于接收负压气体连接并利用负压气体吸持晶片,所述联动块(3220)与所述固晶吸嘴(3210)连接,所述固晶驱动器(3230)连接于所述电机安装座(3240),并用于驱动所述联动块(3220)上下运动,且在驱动所述联动块(3220)向下运动过程中将所述固晶吸嘴(3210)上吸持的晶片固定到基板上。

3.如权利要求2所述的固晶设备,其特征在于,所述联动块(3220)开设有左右方向延伸设置的活动槽(32201);

所述固晶驱动器(3230)包括沿前后方向延伸设置的活动筒(3231)、与所述活动筒(3231)连接的转接件(3232)以及连接于所述邦头安装邦并用于驱动所述转接件(3232)绕一转动轴线转动的驱动电机(3233),所述活动筒(3231)置于所述活动槽(32201)内,所述活动筒(3231)的中心轴线与所述转接件(3232)的转动轴线错位设置;

所述活动槽(32201)的槽宽等于所述活动筒(3231)的外筒径。

4.如权利要求3所述的固晶设备,其特征在于,所述电机安装座(3240)包括第一安装部(3110)、连接于所述第一安装部(3110)边缘并向下延伸形成的第二安装部(3120)以及连接于所述第二安装部(3120)下侧边缘并朝背离所述第一安装部(3110)方向延伸形成的第三安装部(3130),所述固晶驱动器(3230)位于所述第一安装部(3110)下侧,所述转接件(3232)和所述固晶驱动器(3230)位于所述第二安装部(3120)两侧。

5.如权利要求2所述的固晶设备,其特征在于,所述固晶单元(310)还包括取晶镜头(330),所述取晶镜头(330)用于辅助所述固晶邦头(3200)进行准确取晶。

6.如权利要求2所述的固晶设备,其特征在于,所述固晶单元(310)还包括固晶镜头(340)以及用于驱动固晶镜头(340)左右移动的镜头驱动机构(350),所述固晶镜头(340)用于辅助所述固晶邦头(3200)进行准确固晶。

7.如权利要求1所述的固晶设备,其特征在于,各所述固晶装置(300)均包括两个所述固晶单元(310),两所述固晶单元(310)在左右方向相对设置。

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