[实用新型]固晶设备有效
申请号: | 202020869192.0 | 申请日: | 2020-05-21 |
公开(公告)号: | CN211980586U | 公开(公告)日: | 2020-11-20 |
发明(设计)人: | 胡新荣 | 申请(专利权)人: | 中山市新益昌自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67;H01L21/687;H01L33/48 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 陈延侨 |
地址: | 528400 广东省中山*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 设备 | ||
1.一种固晶设备,其特征在于,包括:
传送装置(100),用于驱动基板从前往后移动,且依次经过进板工位(101)、固晶工位(102)、出板工位(103);
供料装置(200),包括晶环(210)、晶环储料组件(220)、晶环移动组件(230)、晶框移动组件(240)以及顶针组件(250),所述晶环(210)上设有粘附有至少一个晶片的薄膜,所述晶环储料组件(220)用于存储至少一个所述晶环(210),所述晶环移动组件(230)用于在所述晶环储料组件(220)和所述晶框移动组件(240)之间搬运所述晶环(210),所述晶框移动组件(240)带动所述晶环(210)相对所述顶针组件(250)平移,所述顶针组件(250)在与一所述晶片对应时能够将该晶片从所述薄膜顶起;
至少两个固晶装置(300),各所述固晶装置(300)沿前后方向相对设置,且均设置于所述固晶工位(102),其中,所述固晶装置(300)包括至少两个固晶单元(310),各所述固晶单元(310)从所述供料装置(200)获取晶片,并分别固定在所述基板不同区域固晶,所述固晶单元(310)包括邦头机构(311)、与所述邦头机构(311)连接的位移驱动机构(312),所述邦头机构(311)能够在所述供料装置(200)处抓取多个晶片并在所述固晶工位(102)处固定晶片,所述位移驱动机构(312)用于驱动所述邦头机构(311)在所述供料装置(200)和所述固晶工位(102)之间往复移动。
2.如权利要求1所述的固晶设备,其特征在于,所述邦头机构(311)包括邦头安装板(3100)以及至少两个均安装于所述邦头安装板(3100)的固晶邦头(3200),其中,所述固晶邦头(3200)包括固晶吸嘴(3210)、联动块(3220)、固晶驱动器(3230)以及电机安装座(3240),所述电机安装座(3240)连接于邦头安装板(3100),所述固晶吸嘴(3210)用于接收负压气体连接并利用负压气体吸持晶片,所述联动块(3220)与所述固晶吸嘴(3210)连接,所述固晶驱动器(3230)连接于所述电机安装座(3240),并用于驱动所述联动块(3220)上下运动,且在驱动所述联动块(3220)向下运动过程中将所述固晶吸嘴(3210)上吸持的晶片固定到基板上。
3.如权利要求2所述的固晶设备,其特征在于,所述联动块(3220)开设有左右方向延伸设置的活动槽(32201);
所述固晶驱动器(3230)包括沿前后方向延伸设置的活动筒(3231)、与所述活动筒(3231)连接的转接件(3232)以及连接于所述邦头安装邦并用于驱动所述转接件(3232)绕一转动轴线转动的驱动电机(3233),所述活动筒(3231)置于所述活动槽(32201)内,所述活动筒(3231)的中心轴线与所述转接件(3232)的转动轴线错位设置;
所述活动槽(32201)的槽宽等于所述活动筒(3231)的外筒径。
4.如权利要求3所述的固晶设备,其特征在于,所述电机安装座(3240)包括第一安装部(3110)、连接于所述第一安装部(3110)边缘并向下延伸形成的第二安装部(3120)以及连接于所述第二安装部(3120)下侧边缘并朝背离所述第一安装部(3110)方向延伸形成的第三安装部(3130),所述固晶驱动器(3230)位于所述第一安装部(3110)下侧,所述转接件(3232)和所述固晶驱动器(3230)位于所述第二安装部(3120)两侧。
5.如权利要求2所述的固晶设备,其特征在于,所述固晶单元(310)还包括取晶镜头(330),所述取晶镜头(330)用于辅助所述固晶邦头(3200)进行准确取晶。
6.如权利要求2所述的固晶设备,其特征在于,所述固晶单元(310)还包括固晶镜头(340)以及用于驱动固晶镜头(340)左右移动的镜头驱动机构(350),所述固晶镜头(340)用于辅助所述固晶邦头(3200)进行准确固晶。
7.如权利要求1所述的固晶设备,其特征在于,各所述固晶装置(300)均包括两个所述固晶单元(310),两所述固晶单元(310)在左右方向相对设置。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山市新益昌自动化设备有限公司,未经中山市新益昌自动化设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202020869192.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种转子扭振试验装置
- 下一篇:一种电力工程用电力接地桩
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造