[实用新型]太阳能硅晶片切割用超厚大平面衬板的冷却防变形装置

权利要求书

1.太阳能硅晶片切割用超厚大平面衬板的冷却防变形装置，包括冷却水槽(4)和出水管(5)，其特征在于：所述冷却水槽(4)的内端螺栓安装固定有夹具支架(1)，所述夹具支架(1)的内上端螺栓均匀固定有下压气缸(2)，所述下压气缸(2)的下端螺纹连接有上压板(3)，所述上压板(3)的下方位于夹具支架(1)的内下端螺栓固定有下垫板(6)，所述冷却水槽(4)的左端后侧连接有进水管(7)，所述冷却水槽(4)的右端后侧连接有出水管(5)，所述下垫板(6)的外端位于夹具支架(1)的内下方螺栓固定有辅助对齐装置(8)，所述辅助对齐装置(8)包括后挡板(81)、调节螺栓(82)、侧挡板(83)和移动槽(84)，所述后挡板(81)的下侧设置有移动槽(84)，所述移动槽(84)的后端左右侧螺纹连接有调节螺栓(82)，所述调节螺栓(82)的前端位于后挡板(81)的前端左右侧螺纹连接有侧挡板(83)。

2.根据权利要求1所述的太阳能硅晶片切割用超厚大平面衬板的冷却防变形装置，其特征在于：所述下压气缸(2)包括缸筒(21)、输气孔(22)和伸缩杆(23)，所述缸筒(21)的上下侧设置有输气孔(22)，所述缸筒(21)的下端连接有伸缩杆(23)。

3.根据权利要求1所述的太阳能硅晶片切割用超厚大平面衬板的冷却防变形装置，其特征在于：所述上压板(3)包括螺纹口(31)和板体(32)，所述板体(32)的上端左右侧设置有螺纹口(31)。

4.根据权利要求1所述的太阳能硅晶片切割用超厚大平面衬板的冷却防变形装置，其特征在于：所述冷却水槽(4)中冷却水面高度，要高于下垫板(6)上十到十二毫米，所述下垫板(6)和上压板(3)为铝板或铜板。

5.根据权利要求2所述的太阳能硅晶片切割用超厚大平面衬板的冷却防变形装置，其特征在于：所述输气孔(22)共设置有两个，且两个所述输气孔(22)通过管道与外部气泵装置相连接。

6.根据权利要求1所述的太阳能硅晶片切割用超厚大平面衬板的冷却防变形装置，其特征在于：所述冷却水槽(4)内部有流动冷却水，冷却水通过进水管(7)流入，再通过出水管(5)流出。

7.根据权利要求1所述的太阳能硅晶片切割用超厚大平面衬板的冷却防变形装置，其特征在于：所述下压气缸(2)共设置有四个，且四个所述下压气缸(2)通过输气带动上压板(3)向下运动，所述下压气缸(2)上下移动距离大于一百二十毫米。