[实用新型]芯片的固定装置有效

专利信息
申请号: 202020872559.4 申请日: 2020-05-22
公开(公告)号: CN212182292U 公开(公告)日: 2020-12-18
发明(设计)人: 冯晓宇;邓大伟;王成刚;谢珩;王骏;黄婷 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十一研究所
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/48
代理公司: 工业和信息化部电子专利中心 11010 代理人: 华枫
地址: 100015*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 芯片 固定 装置
【权利要求书】:

1.一种芯片的固定装置,其特征在于,包括:

基台,所述基台设有多个用于放置芯片的容置槽,每个所述容置槽的底部设有与所述基台内部的真空腔连通的吸孔;

抽气组件,所述抽气组件与所述真空腔连通,用于对所述真空腔进行抽气。

2.根据权利要求1所述的芯片的固定装置,其特征在于,所述固定装置还包括:

手柄,所述手柄与所述基台连接,所述手柄具有连通腔,所述抽气组件通过所述连通腔与所述真空腔连通。

3.根据权利要求2所述的芯片的固定装置,其特征在于,所述手柄为多个,多个所述手柄间隔设置。

4.根据权利要求2所述的芯片的固定装置,其特征在于,所述手柄的延伸方向与所述基台垂直,且所述手柄靠近所述基台的边缘设置。

5.根据权利要求1所述的芯片的固定装置,其特征在于,所述抽气组件包括:

抽气管,所述抽气管的一端与所述真空腔连通;

真空泵,所述真空泵连接于所述抽气管的另一端。

6.根据权利要求5所述的芯片的固定装置,其特征在于,所述抽气组件还包括:抽滤瓶,

所述抽气管包括:

第一管体,所述第一管体的一端与所述真空泵连接,所述第一管体的另一端与伸入所述抽滤瓶;

第二管体,所述第二管体的一端与所述真空腔连通,所述第二管体的另一端伸入所述抽滤瓶。

7.根据权利要求6所述的芯片的固定装置,其特征在于,所述第一管体伸入所述抽滤瓶内的长度小于所述第二管体伸入所述抽滤瓶内的长度。

8.根据权利要求1所述的芯片的固定装置,其特征在于,任意相邻的两个容置槽之间的距离相等。

9.根据权利要求1所述的芯片的固定装置,其特征在于,所述容置槽的横截面为方形,所述容置槽的横截面的边长范围为19mm-21mm。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的芯片的固定装置,其特征在于,多个所述容置槽呈矩阵状排布。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第十一研究所,未经中国电子科技集团公司第十一研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202020872559.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top