[实用新型]一种深紫外波长激光发射装置

说明书

本发明公开了一种深紫外波长激光发射装置，包括808nm半导体激光器；808nm聚焦镜；Nd:YVO₄激光晶体；平面镜；LBO倍频；平凹镜A；CLBO倍频晶体；平凹镜B；228.5nm滤光片。808nm半导体激光器发射的808nm激光通过808nm聚焦镜将808nm激光聚焦到Nd:YVO₄激光晶体中，Nd:YVO₄激光晶体通过808nm激光泵浦发射914nm激光；914nm激光通过平面镜反射，再通过LBO倍频晶体倍频产生457nm激光；457nm激光通过平凹镜A反射，依次通过LBO倍频晶体和平面镜，再通过CLBO倍频晶体倍频产生新波长228.5nm激光；新波长228.5nm激光通过输出镜平凹镜B，最后通过228.5nm滤光片发射新波长228.5nm深紫外激光。

技术领域

本发明涉及深紫外全固态激光技术领域，特别涉及一种深紫外波长激光发射装置。

背景技术

深紫外激光是目前正在开发的一个重要激光应用领域。深紫外激光的开发将极大的推动光刻技术、激光精密加工、各种光电子能谱仪、激光光谱仪、激光Raman光谱仪等高技术领域和先进仪器制造业的发展。紫外激光器包含气体紫外激光器、固体紫外激光器、半导体激光二极管，这些是依据激光增益介质的形态划分的。常见的气体紫外激光器包括准分子激光器、离子激光器、氦-镉激光器、金属蒸汽紫外激光器。固体紫外激光器常见的有氪灯泵浦紫外激光器、氙灯泵浦紫外激光器、激光二极管泵浦固体紫外激光器。准分子激光器具有平均功率高的优点，但是由于其光束质量差、波段范围窄、调谐困难、不能研究超快过程，且大多含有有毒气体，其使用范围受到限制。传统的闪光灯泵浦的紫外激光器也由于一些如设备运营费用高、使用寿命短、占地面积大等缺点而迫使人们探索新的泵浦源。由于激光二极管的飞速发展，从而带动了激光二极管泵浦的固体激光器的快速发展。同时由于一些新型非线性晶体的出现，激光频率变换技术的成熟，使得全固态紫外激光器的紫外激光输出技术越来越成熟。全固态紫外激光因为具有光束质量好，可调谐的特点，且由于紫外波长较短的缘故，其空间分辨率也非常高，因此全固态紫外激光的应用非常广泛。

发明内容

本发明的目的在于提出一种深紫外波长激光发射装置。

一种深紫外波长激光发射装置，包括808nm半导体激光器；808nm聚焦镜；Nd:YVO₄激光晶体；平面镜；LBO倍频；平凹镜A；倍频晶体CLBO；平凹镜B；228.5nm滤光片。

其特征在于：

808nm半导体激光器，其输出波长范围为808±3nm，连续输出最小功率为5W。

808nm聚焦镜，其前后表面镀有181.7nm TiO₂/96.7nm SiO₂/156.9 nm TiO₂/94.1nm SiO₂的光学膜。实现808nm处透过率大于99%。