[实用新型]一种边缘检测设备

说明书

本实用新型提供一种边缘检测设备，所述设备包括：夹片机构，所述夹片机构包括水平设置的夹片台和若干周向间隔设置于所述夹片台外周的夹片杆，所述夹片杆沿夹片台的半径方向向外延伸，所述夹片机构用于固定硅片；驱动机构，所述驱动机构与夹片机构连接，用于驱动所述夹片机构自转或沿第一水平线运动以使夹片机构在转移工位和测量工位之间切换；升降机构，设置在转移工位，所述升降机构包括若干升降臂和设置于升降臂上的机械爪，所述机械爪用于抓取硅片。根据本实用新型实施例的边缘检测设备，可以避免夹片机构与升降机构工作时发生碰撞而导致部件变形甚至损坏，继而避免需要更换部件而导致的成本增加和因设备需要重新调整而导致生产效率降低。

技术领域

本实用新型涉及边缘检测技术领域，具体涉及一种边缘检测设备。

背景技术

目前，硅片边缘抛光后需要对硅片边缘进行检测，硅片边缘检测设备内部用于承托硅片的部件主要是夹片台和升降机，但边缘检测设备中的夹片台和升降机结构设计存在一定的缺陷，这种缺陷会使夹片台在移动或者自转过程中与升降台之间存在发生碰撞的风险；而发生相撞后，容易导致夹片台和升降机发生变形或者损坏，这些损坏的部件都比较昂贵，更换成本高，并且更换夹片台的步骤复杂，更换后还需要进一步调整偏心率（即硅片放置在夹片台后的偏心率），偏心率的精确程度会直接影响硅片边缘缺陷检测的准确性，同时更换部件也将对设备内部环境有一定的污染，并且导致长时间的停机，降低设备工作效率。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种边缘检测设备，用于解决现有技术中边缘检测设备的夹片台和升降机之间存在发生碰撞的风险，并且碰撞后更换部件导致的成本增加和因设备需要重新调整而导致生产效率降低的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型实施例提供一种边缘检测设备，包括：

夹片机构，所述夹片机构包括水平设置的夹片台和若干周向间隔设置于所述夹片台外周的夹片杆，所述夹片杆沿所述夹片台的半径方向向外延伸，所述夹片杆的端部设有夹爪，所述夹片机构用于固定硅片；

驱动机构，所述驱动机构与所述夹片机构连接，用于驱动所述夹片机构自转或沿第一水平线运动以使所述夹片机构在转移工位和测量工位之间切换；

升降机构，设置在转移工位，所述升降机构包括若干升降臂和设置于所述升降臂上的机械爪，所述机械爪用于抓取硅片，所述升降臂用于驱动所述机械爪在第一高度工位和第二高度工位之间做竖向升降运动，以使所述机械爪在第一高度工位抓取硅片，并在向第二高度工位移动过程中将抓取的硅片转移至位于所述转移工位的所述夹片机构，所述升降臂包括相互连接的第一杆体和第二杆体，所述第一杆体水平设置，所述第二杆体竖向设置，所述若干升降臂的第二杆体呈同第一圆周设置，所述第一圆周的半径大于所述夹片台的半径和所述夹片杆的长度之和。

可选的，位于所述第一水平线两侧的相邻的两个所述第二杆体之间的距离大于所述夹片台的半径和所述夹片杆的长度之和的两倍。

可选的，所述第一圆周的直径为360mm~370mm。

可选的，所述夹片台的半径和所述夹片杆的长度之和为155mm~160mm。

可选的，还包括：

旋转交接手，所述旋转交接手用于在第三工位抓取硅片，并在第四工位将抓取的硅片交接至位于所述第一高度工位的所述机械爪。

可选的，还包括：

定位传感器，所述硅片的边缘开设有V型槽，所述定位传感器包括分别位于所述夹片机构上下两侧的发射端和接收端，所述定位传感器用于在所述转移工位测定硅片的V型槽的位置。

可选的，还包括：

V型槽相机，所述V型槽相机用于检测位于所述测量工位的硅片的V型槽的形貌。