[实用新型]一种无尘室用环保过滤设备

说明书

本实用新型公开了一种无尘室用环保过滤设备，具体涉及无尘室领域，包括过滤箱体，过滤箱体的两端固定安装有循环进气口和排气机构，排气机构的端部连接有涵道风机，过滤箱体的内侧固定卡接有无纺滤板，过滤箱体的内部安装有过滤箱体和喷淋头，过滤箱体内侧活动安装有静电除尘机构，过滤箱体和静电除尘机构的底端活动安装有杂质回收屉，涵道风机的顶面连接干燥吸附机构。本实用新型通过设置湿法滤尘机构和静电除尘机构，利用喷淋碱液的方式浸湿海绵滤层对杂尘以及有害废气进行吸附中和，后续依次通过静电除尘机构以及干燥吸附机构对气流中混杂的难溶性微粒以及裹挟的湿气进行吸附处理，提高过滤净化效果。

技术领域

本实用新型涉及无尘室技术领域，更具体地说，本实用新型具体为一种无尘室用环保过滤设备。

背景技术

随着半导体技术不断的进步，在电子行业、显示行业以及医学行业的科学研究与生产过程中，为了提高产品性能，通常都需要在无尘室或无尘设备中加工制造或进行相关科学实验，由于半导体装配空间的空气中含微污染物质对于工艺良率的影响，日益扩大，为了提升工艺良率，半导体厂对于生产环境的净化规格相对提高更多，半导体厂对于无尘室内部循环气体的质量要求一向就很高。

目前所使用的一些无尘室过滤设备，虽然可以满足一些无尘室的过滤要求，但普遍采用滤网滤芯结构作为空气过滤机构，在实际使用过程中滤网和滤芯使用一段时间后即需进行清洗或更换处理，拆卸繁琐且维护成本过高，环保效能低，另外，传统滤网滤芯结构无法有效净化微粒子、有害空气、细菌等微污染物质，除杂效率低且效果较差，无法满足半导体电子加工无尘室的净化标准。

因此亟需提供一种无尘室用环保过滤设备。

实用新型内容

为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种无尘室用环保过滤设备，通过设置湿法滤尘机构和静电除尘机构，利用喷淋碱液的方式浸湿海绵滤层对杂尘以及有害废气进行吸附中和，后续依次通过静电除尘机构以及干燥机构对气流中混杂的难溶性微粒以及裹挟的湿气进行吸附处理，且利用湿法滤尘机构内部的喷淋进行自清洗式滤尘，以及静电除尘机构振动除尘的方式，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种无尘室用环保过滤设备，包括过滤箱体，所述过滤箱体的两端固定安装有循环进气口和排气机构，所述排气机构的端部固定连接有位于过滤箱体内部的涵道风机，所述过滤箱体的内侧固定卡接有无纺滤板，所述过滤箱体的内部固定安装有湿法滤尘机构和喷淋头，所述过滤箱体内侧活动安装有静电除尘机构，所述湿法滤尘机构和静电除尘机构的底端活动安装有杂质回收屉，所述涵道风机的顶面固定连接有位于过滤箱体内部的干燥吸附机构，所述湿法滤尘机构包括海绵滤层和限位网板，所述喷淋头位于海绵滤层的正上方，所述静电除尘机构包括振动板、线性振动器、电极网栅和高压静电发生器，所述线性振动器的顶面与过滤箱体内腔的顶面固定连接，所述振动板与线性振动器的输出端固定连接。

在一个优选地实施方式中，所述无纺滤板的顶面固定安装有卡接块，所述过滤箱体的顶面开设有与卡接块相适配的卡槽，所述无纺滤板的周侧与过滤箱体的内侧滑动连接。

在一个优选地实施方式中，所述限位网板的两侧与过滤箱体的内侧固定连接，所述海绵滤层位于限位网板的内侧，所述喷淋头的输入端固定连接有碱液泵送机构。

在一个优选地实施方式中，疏水电极网栅的两侧与振动板的内侧固定连接，所述电极网栅为金属网珊结构，所述电极网栅的表面喷涂有疏水涂层。

在一个优选地实施方式中，所述振动板为绝缘材质构件，所述电极网栅的数量为若干，相邻所述电极网栅的端部与高压静电发生器输出端的两级电性连接。

在一个优选地实施方式中，所述干燥吸附机构包括干燥筒和干燥吸附颗粒，所述干燥筒的侧面和底面开设有通孔并固定安装有阻隔网，所述阻隔网的底端与涵道风机的顶端固定连接。

在一个优选地实施方式中，所述过滤箱体的顶面设有位于干燥筒上方的螺纹盖。