[实用新型]一种立式辐射退火设备炉

说明书

本实用新型公开了一种立式辐射退火设备炉，包括第一连接管、外壳体、退火炉体、板材和第二连接管，所述退火炉体的内部中间处通过加热箱固定有预氧罩，所述预氧罩的内部上下端均固定有导热板，所述预氧罩的两侧下端通过转轴均等距转动安装有底轮，所述预氧罩的两侧上端中间处均开设有通槽，所述板材的两侧放置在两侧的底轮上，所述外壳体贯穿安装在退火炉体的外侧，且外壳体固定在预氧罩的外侧，所述第一连接管和第二连接管贯穿外壳体后连接预氧罩的内部，所述外壳体的内壁下侧等距分布有驱动箱，所述外壳体的内部底端中间处固定有液压杆。本实用新型具备上下料简便，使用便捷和可调节，便于固定不同厚度板材的优点。

技术领域

本实用新型涉及退火炉设备技术领域，具体为一种立式辐射退火设备炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

为满足汽车轻量化的发展要求，汽车用高强钢已经从第一代高强钢发展到第三代高强钢。汽车用钢强度的不断增加使镀锌行业面临新的挑战。传统的高强钢工艺生产中，由于硅、锰元素析出导致表面易出现析出物和漏镀表面缺陷。为提高钢强度，需要进行预氧化处理。现有的高强钢加工过程中，在钢板材的上料和卸料操作时较为不便，操作难度较大，且无法根据实际的加工情况，调节固定结构大小，不便于对不同厚度的板材实现固定。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种立式辐射退火设备炉，具备上下料简便，使用便捷和可调节，便于固定不同厚度板材的优点，解决现有装置上下料不便和不可调节，实用性差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种立式辐射退火设备炉，包括第一连接管、外壳体、退火炉体、板材和第二连接管，所述退火炉体的内部中间处通过加热箱固定有预氧罩，所述预氧罩的内部上下端均固定有导热板，所述预氧罩的两侧下端通过转轴均等距转动安装有底轮，所述预氧罩的两侧上端中间处均开设有通槽，所述板材的两侧放置在两侧的底轮上，所述外壳体贯穿安装在退火炉体的外侧，且外壳体固定在预氧罩的外侧，所述第一连接管和第二连接管贯穿外壳体后连接预氧罩的内部，所述外壳体的内壁下侧等距分布有驱动箱，所述外壳体的内部底端中间处固定有液压杆，且液压杆的上端固定有固定座，所述固定座的一侧通过转轴转动安装有上压轮。

优选的，所述导热板呈长方形设计，且导热板与加热箱的内部相连接，所述导热板位于板材的上下侧。

优选的，所述外壳体共设有两个，且两个外壳体分别位于预氧罩的两侧，所述第一连接管和第二连接管分别贯穿两个外壳体。

优选的，所述驱动箱内设有驱动电机，且驱动电机的输出轴与底轮的转轴相连接，所述驱动箱共设有八个，且八个驱动箱均分在两个外壳体内。

优选的，所述上压轮位于预氧罩的内部，所述上压轮的转轴通过通槽后转动安装在固定座上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置上压轮，外接电源供电，通过外部控制设备启动本装置，将板材的一端输送至底轮的上端，驱动箱内电机通过输出轴带动底轮转动，底轮将板材运输至预氧罩内部，启动液压杆带动固定座下降，固定座一侧的转轴带动上压轮下降，通过通槽调节上压轮的位置，上压轮贴合在板材的上端面两侧，通过上述操作实现上料和固定，通过加热箱对导热板实现加热，导热板的热量散发在预氧罩内对板材实现加热，通过外部供料设备将氧气和水分别通过第一连接管和第二连接管注入，确保预氧效果，加工完毕启动驱动箱内电机带动底轮转动，将板材从开口处排出，本装置结构简单，操作简便，方便上下料可提高效率，且可根据实际情况调节，可固定不同厚度板材，实用性强。

附图说明