[实用新型]一种钙钛矿太阳能电池生产用硅片表面酸洗装置有效
申请号: | 202020886138.7 | 申请日: | 2020-05-25 |
公开(公告)号: | CN212461610U | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 刘立帮 | 申请(专利权)人: | 武汉鑫誉金天科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 武汉智慧恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42232 | 代理人: | 张熔舟 |
地址: | 430080 湖北省武汉市青山区友谊大道*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 钙钛矿 太阳能电池 生产 硅片 表面 酸洗 装置 | ||
1.一种钙钛矿太阳能电池生产用硅片表面酸洗装置,包括酸洗台(1),其特征在于:所述酸洗台(1)的上方设置有机架(2)和挡板(7),所述机架(2)与挡板(7)之间设置有酸洗池(3),且酸洗池(3)与酸洗台(1)相贴合,所述酸洗池(3)的内部设置有滤网(6),且滤网(6)与酸洗池(3)的内壁相贴合,所述机架(2)的内部设置有第一电机(12),所述机架(2)的下方设置有滑动块(14),所述滑动块(14)的内部设置有升降腔(16),所述升降腔(16)的内部设置有升降块(26),所述升降块(26)的下方设置有固定框(18),所述固定框(18)的内部设置有硅片(19),所述升降块(26)的内部设置有第二电机(27)。
2.根据权利要求1所述的一种钙钛矿太阳能电池生产用硅片表面酸洗装置,其特征在于:所述挡板(7)的上方设置有转辊(8),且转辊(8)与挡板(7)转动连接,所述转辊(8)的外部设置有海绵垫(9),且海绵垫(9)与转辊(8)贴合连接,所述海绵垫(9)的下方设置有刮液块(10),且刮液块(10)与挡板(7)通过螺钉连接,所述刮液块(10)的一端与海绵垫(9)紧密贴合,所述挡板(7)的一侧设置有残液收集槽(11),且残液收集槽(11)与挡板(7)通过螺钉连接。
3.根据权利要求1所述的一种钙钛矿太阳能电池生产用硅片表面酸洗装置,其特征在于:所述第二电机(27)输出端的下方设置有转轴(28),且转轴(28)的一端与第二电机(27)的输出端通过联轴器连接,所述转轴(28)的另一端与固定框(18)通过螺钉连接,所述酸洗池(3)的下方设置有排液管(4),且排液管(4)的一端延伸至酸洗台(1)的下方,所述排液管(4)的外部设置有电磁阀(5),且电磁阀(5)与排液管(4)密封连接。
4.根据权利要求1所述的一种钙钛矿太阳能电池生产用硅片表面酸洗装置,其特征在于:所述酸洗池(3)的内部设置有滑槽(29),滑槽(29)设置有四个,所述滤网(6)的外部设置有滑轨(30),滑轨(30)设置有四个,且滑轨(30)与滤网(6)设置为一体结构,所述滑轨(30)的一端延伸至滑槽(29)的内部,且滑轨(30)与酸洗池(3)滑动连接。
5.根据权利要求1所述的一种钙钛矿太阳能电池生产用硅片表面酸洗装置,其特征在于:所述第一电机(12)输出端的一侧设置有螺纹杆(13),且螺纹杆(13)的一端贯穿滑动块(14)并延伸至机架(2)的内部,所述螺纹杆(13)的一端与第一电机(12)的输出端通过联轴器连接,且螺纹杆(13)的另一端与机架(2)转动连接,所述螺纹杆(13)与滑动块(14)螺纹连接。
6.根据权利要求5所述的一种钙钛矿太阳能电池生产用硅片表面酸洗装置,其特征在于:所述螺纹杆(13)的下方设置有导向杆(15),且导向杆(15)与机架(2)通过螺钉连接,所述导向杆(15)贯穿滑动块(14),所述导向杆(15)的外部设置有凸块(20),凸块(20)设置有三个,且凸块(20)与导向杆(15)设置为一体结构,所述凸块(20)的一端延伸至滑动块(14)的内部,且凸块(20)与滑动块(14)滑动连接。
7.根据权利要求1所述的一种钙钛矿太阳能电池生产用硅片表面酸洗装置,其特征在于:所述滑动块(14)的内部设置有升降槽(24),升降槽(24)设置有两个,所述升降块(26)的两侧均设置有限位块(25),且限位块(25)与升降块(26)设置为一体结构,所述限位块(25)的一端延伸至升降槽(24)的内部,且限位块(25)与滑动块(14)滑动连接,所述升降腔(16)的内部设置有第一电动伸缩杆(17),且第一电动伸缩杆(17)的两端分别与滑动块(14)和升降块(26)贴合连接。
8.根据权利要求1所述的一种钙钛矿太阳能电池生产用硅片表面酸洗装置,其特征在于:所述固定框(18)的内部设置有第二电动伸缩杆(21),且第二电动伸缩杆(21)与固定框(18)通过螺钉连接,所述第二电动伸缩杆(21)的一端贯穿固定框(18)并延伸至固定框(18)的外部,所述第二电动伸缩杆(21)与固定框(18)之间设置有密封圈(23),且密封圈(23)分别与第二电动伸缩杆(21)和固定框(18)相贴合,所述第二电动伸缩杆(21)与硅片(19)之间设置有夹持块(22),且夹持块(22)与第二电动伸缩杆(21)通过螺钉连接,所述硅片(19)的一端延伸至夹持块(22)的内部,且硅片(19)与夹持块(22)相贴合。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造