[实用新型]一种垂直结构LED芯片有效
申请号: | 202020888042.4 | 申请日: | 2020-05-22 |
公开(公告)号: | CN212967738U | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 李国强 | 申请(专利权)人: | 河源市天和第三代半导体产业技术研究院 |
主分类号: | H01L33/46 | 分类号: | H01L33/46;H01L33/10;H01L33/00 |
代理公司: | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人: | 杨艳 |
地址: | 517000 广东省河源市高新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 垂直 结构 led 芯片 | ||
本实用新型公开了一种垂直结构LED芯片,从下往上依次包括衬底层、粘结层、键合层、保护层、反射层、p‑GaN层、InGaN/GaN多量子阱层、n‑GaN层、钝化层和N电极;其中,反射层包括金属反射层和绝缘反射层,金属反射层的底面与保护层的上面连接,绝缘反射层设置在金属反射层的两端且与保护层连接;具有更好的光强均匀性,在芯片边缘设置了绝缘反射层,降低了边缘发光强度偏弱的影响,从而提高了反射层单位发光面积上的发光强度。使得相同发光面积下,使用垂直结构LED芯片的LED灯具有更高的发光通量。
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域,具体涉及一种垂直结构LED芯片。
背景技术
目前发光二极管(Light Emitting Diode,LED)已广泛用于室内外照明,室外照明、车灯以及手持照明等应用领域。发光二极管(Light Emitting Diode,LED) 是靠PN结把电能转换成光能的一种器件,具有可控性好、启动快、寿命长、发光效率高、安全、节能环保等优点,不仅带动照明产业的深刻变革,同时还引领着显示屏领域的创新。随着LED产业的发展,大功率LED越来越受到人们的青睐。随着使用功率的提高,单位面积上注入的电流也要求越来越大。
然而,由于制作LED本身的半导体材料特性所限,较大的电流密度会导致大功率LED局部区域电流拥堵,使得大功率LED发光面上发光不均匀,发光效率低。大功率LED发光面发光不均匀,不仅会降低LED的发光亮度,同时会使得大功率LED芯片发光光斑出现明暗相间的现象,部分区域较亮,部分区域形成暗带。严重影响对光斑有较高要求的使用领域,如汽车车灯、手电筒等照明市场。可见,提高发光亮度和均匀性,改善芯片发热问题对大功率LED来说是非常有必要的。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足,本实用新型的目的在于提供一种垂直结构LED 芯片,该垂直结构LED芯片能克服现有大功率LED发光不均匀以及发光效率低的缺陷,增加了边缘反射层的反射面积从而提高了亮度,改善了传统芯片边缘发光不均、发光效率低现象,适用于大功率LED。
本实用新型的目的采用如下技术方案实现:
一种垂直结构LED芯片,从下往上依次包括衬底层、粘结层、键合层、保护层、反射层、p-GaN层、InGaN/GaN多量子阱层、n-GaN层、钝化层和N电极;其中,反射层包括金属反射层和绝缘反射层,金属反射层的底面与保护层的上面连接,绝缘反射层设置在金属反射层的两端且与保护层连接;所述绝缘反射层为SiO2、Si3N4、TiO2、Ti3O5中的一种。优选地,绝缘反射层由SiO2、Si3N4、 TiO2/Ti3O5组成。
本实用新型的LED芯片采用垂直线性结构,绝缘反射层设置在金属反射层的两端且两者均与保护层连接,增加了边缘反射层(即绝缘发射层)的反射面积,改变了传统LED芯片边缘发光不均和发光效率低的现象。
进一步,所述粘结层为Cr、Ti、Ni、Al、Pt和Au中的一种,粘结层的总厚度为10nm~1000nm。优选地,粘结层含有Al金属,其中Al的厚度为 100nm~1000nm。
再进一步,所述绝缘反射层的层数为15~45层,绝缘反射层的总厚度为 0.5~4um。
进一步,所述衬底层的材料为硅或碳化硅。
再进一步,所述键合层为AuSn、NiSn、CuSn和AuSi中的一种,键合层的总厚度为1000~9000nm。
进一步,所述N电极的金属为Ti、Cr、Ni、Al、Pt和Au中的一种,N电极的总厚度为500nm~5000nm。
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