[实用新型]一种半自动研磨液的供应装置

说明书

本实用新型公开了一种半自动研磨液的供应装置，具体涉及半导体制造领域。该装置主要包括外壳、排风装置、电控箱、操控屏、研磨液存储桶、电控搅拌装置、隔膜液泵等相关连接阀门和管道。电控搅拌装置用于研磨液存储桶定时搅拌防止研磨液中悬浮物质上下分层结晶；隔膜液泵用于研磨液存储桶内的循环和研磨液的供应输出。本实用新型提供了半导体制造企业提供一种操作及保养简单、成本低廉而且占用场地面积较小等特性的装置，其次客户可以根据自身企业的产能需求来自行选择研磨液的供应模块数量，在满足企业实际发展需要的同时，也灵活的解决了因购买成套化学研磨液的供应系统而带来的资金压力。

技术领域

本实用新型涉及化学机械研磨的半导体制造领域，具体是一种半自动研磨液的供应装置。

背景技术

在市场现有化学研磨液的供应系统都比较复杂且价格昂贵情况下，我司将原有的化学研磨液的供应系统进行结构优化和模块设计，研发出了一种成本较低、维护便捷、使用人员操作简单的半自动研磨液的供应装置。

实用新型内容

本实用新型采用的技术方案,提供了一种半自动研磨液的供应装置，主要包括外壳、排风装置、电控箱、操控屏、研磨液存储桶、电控搅拌装置、隔膜液泵等相关连接阀门和管道。该装置是由厂务设备将纯水通过管道、手动阀及自动控制阀注入到研磨液存储桶内进行自动旋转喷洒清洗，再经排废管道排净；工人手动方式往研磨液存储桶内注入所需研磨液，注入的研磨液量依照观察安装在研磨液存储桶上的液位传感器的指示灯来判断；操控屏可以启动电控搅拌装置和开启隔膜液泵，并通过管道、自动控制阀在研磨液存储桶内的循环,同时还通过研磨液的供应输出管道、手动控制阀来供应研磨液输出。

进一步优化的是，所述的隔膜液泵和研磨液存储桶之间通过管道、手动阀一控制。

进一步优化的是，管道和排废管道之间通过手动阀二进行研磨液的供应和排废液的切换控制。

外壳是由不锈钢方钢和聚苯烯(PP)的板材及排风装置机械连接而成。

电控箱和操控屏是控制整个装置实现半自动化运作。

研磨液存储桶是用来临时存储工人手动加入的所需研磨液，桶底部形状是倒锥型，并且在桶外围安装了三个液位传感器分别监测液位高、中、低。

电控搅拌装置用于研磨液存储桶定时搅拌防止研磨液中悬浮物质上下分层结晶。

隔膜液泵用于研磨液存储桶内的循环和研磨液的供应输出。

该装置实现研磨液的供应输出模块化，允许企业根据自身需求定制模块的数量，在多模块配置的情况下实现了模块故障时的备用功能

本实用新型的有益效果

本实用新型解决了现今行业内化学研磨液的供应系统比较复杂且价格昂贵的问题，为半导体制造企业提供一种操作及保养简单、成本低廉而且占用场地面积较小等特性的装置，实现研磨液的供应输出模块化，允许企业根据自身需求定制模块的数量，在多模块配置的情况下实现了模块故障时，可以启用备用模块的功能，最大限度保证研磨设备的生产加工的连续性工作。

附图说明

图1为本实用新型的半自动研磨液的供应装置结构示意图。

图2为本实用新型的半自动研磨液的单个供应模块结构前轴侧示意图。

图3为本实用新型的半自动研磨液的单个供应模块结构后轴侧示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型作进一步说明，通过实施例的方式详细地描述本实用新型提供的半自动研磨液的供应装置。

实施例一