[实用新型]一种炉内快速降温系统

说明书

本实用新型公开了一种炉内快速降温系统，包括加热炉体，所述加热炉体内设有炉管，还包括散热组件、连接管、风机组件和控制器，所述散热组件设置在所述炉管内，所述散热组件的进风口和出风口均穿过炉管外壁并向外伸出，所述散热组件的进风口通过连接管与风机组件相连，所述控制器与风机组件相连，所述控制器用于控制风机组件启停及风量大小。本实用新型具有结构简单、降温效率高、降温效果好等优点。

技术领域

本实用新型涉及光伏及半导体设备领域，特指一种炉内快速降温系统。

背景技术

加热炉管在光伏及半导体设备领域应用广泛，如扩散炉、PECVD、LPCVD、退火炉、氧化炉、合金炉等。快速升降温是加热炉管的一项重要指标，快速升温主要是通过增加加热炉体保温层、加热功率或辅助加热等方式；而快速降温则采用水冷炉体或减薄加热炉体保温层。水冷炉体对加热炉体的加工工艺要求很高，而且还存在漏水、炉体鼓泡破裂等风险；而减薄加热炉体保温层则会影响升温速率，增大了加热功率。因此，针对加热炉管两种快速降温方法的不足，本领域技术人员亟需设计一种不影响加热炉体保温及升温速率同时能实现加热炉体快速降温的系统。

实用新型内容

针对现有技术存在的技术问题，本实用新型提供一种结构简单、降温效率高、降温效果好的炉内快速降温系统。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种炉内快速降温系统，包括加热炉体，所述加热炉体内设有炉管，还包括散热组件、连接管、风机组件和控制器，所述散热组件设置在所述炉管内，所述散热组件的进风口和出风口均穿过炉管的外壁并向外伸出，所述散热组件的进风口通过连接管与风机组件相连，所述控制器与风机组件相连，所述控制器用于控制风机组件启停及风量大小。

作为上述技术方案的进一步改进：所述散热组件为U型散热管或S形散热管或螺旋形散热管，所述散热组件的进风口和出风口均穿过所述炉管尾端的外壁并向外伸出。

作为上述技术方案的进一步改进：所述散热组件为多个，所述散热组件对称布置于所述炉管内。

作为上述技术方案的进一步改进：所述散热组件为多个，所述散热组件呈环形均匀布置在所述炉管内。

作为上述技术方案的进一步改进：所述风机组件为一个，所述风机组件通过连接管分别与多个散热组件的进风口相连。

作为上述技术方案的进一步改进：所述风机组件的数量与散热组件数量相匹配，所述风机组件通过连接管与散热组件相连。

作为上述技术方案的进一步改进：所述炉管内壁设有支撑组件，所述散热组件通过支撑组件安装在所述炉管内壁上。

作为上述技术方案的进一步改进：所述散热组件与所述炉管的内壁通过焊接方式相连。

作为上述技术方案的进一步改进：所述风机组件为高压离心风机或鼓风机。

作为上述技术方案的进一步改进：所述散热组件的进风口和出风口与炉管的外壁连接处通过焊接方式密封或通过密封件进行密封连接。

作为上述技术方案的进一步改进：还包括测温组件，所述测温组件设置于加热炉体内，所述测温组件与控制器相连，所述测温组件用于检测炉管温度并将测温结果反馈至控制器。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：