[实用新型]研磨盘的清洁装置和研磨设备

权利要求书

1.一种研磨盘的清洁装置，其特征在于，用于清洁研磨盘的沟槽，所述清洁装置包括第一收放线驱动器、第二收放线驱动器和清洁线，所述清洁线的两端分别与所述第一收放线驱动器和所述第二收放线驱动器相连，且所述清洁线能够在所述第一收放线驱动器和/或所述第二收放线驱动器的带动下沿所述沟槽移动以清洁所述沟槽。

2.如权利要求1所述的研磨盘的清洁装置，其特征在于，还包括压盘，所述压盘朝向所述研磨盘开设有所述沟槽的表面设置，所述压盘用于向所述清洁线施加朝向所述研磨盘的方向的压力。

3.如权利要求2所述的研磨盘的清洁装置，其特征在于，所述压盘上设置有多个压头，各所述压头朝向所述研磨盘设置，所述压头均与驱动装置传动连接，且所述驱动装置用于调节所述压头和所述压盘在沿所述压盘到所述研磨盘的方向上的距离。

4.如权利要求3所述的研磨盘的清洁装置，其特征在于，所述压盘上还设置有距离传感器，所述距离传感器用于检测所述研磨盘的沟槽与所述压盘之间的距离。

5.如权利要求1至4中任一项所述的研磨盘的清洁装置，其特征在于，还包括同步控制器，所述同步控制器分别与所述第一收放线驱动器和所述第二收放线驱动器电连接。

6.如权利要求1至4中任一项所述的研磨盘的清洁装置，其特征在于，所述第一收放线驱动器包括第一驱动电机和第一线轮，所述第一驱动电机用于驱动所述第一线轮绕自身的轴线转动以将所述清洁线缠绕于所述第一线轮上或释放缠绕于所述第一线轮上的清洁线；和/或

所述第二收放线驱动器包括第二驱动电机和第二线轮，所述第二驱动电机用于驱动所述第二线轮绕自身的轴线转动以将所述清洁线缠绕于所述第二线轮上或释放缠绕于所述第二线轮上的清洁线。

7.如权利要求6所述的研磨盘的清洁装置，其特征在于，所述第一收放线驱动器和/或所述第二收放线驱动器还包括用于调节所述清洁线的延伸方向的导轮。

8.如权利要求1所述的研磨盘的清洁装置，其特征在于，所述清洁线为钢丝绳。

9.如权利要求8所述的研磨盘的清洁装置，其特征在于，所述钢丝绳的表面设置有环绕所述钢丝绳轴向的花纹。

10.一种研磨设备，其特征在于，包括研磨盘，所述研磨盘上开设有沟槽，所述研磨设备还包括权利要求1至9中任一项所述的研磨盘的清洁装置。