[实用新型]一种探针、探针夹具及其点测装置

说明书

一种探针、探针夹具及其点测装置，用于一种LED晶粒点测机点测晶粒电参数，探针包括主体，以及分别与主体首部和尾部相连的双针头结构，针头与主体之间的夹角为钝角，首部针头和尾部针头的针尖方向相反的，一根探针由原先的使用一次变成可以使用两次，提升了探针的使用效益。

技术领域

本实用新型涉及一种用于半导体芯片工艺的点测装置，特别是涉及一种点测用探针。

背景技术

现有的探针，用于光电路板检测，特别是发光二极管芯片工艺的光参数检测，由于其使用频率高而导致单根探针寿命较短，因此相应地增加了芯片制造的成本，现有技术无法充分利用探针的两头，而造成材料的浪费。

发明内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种探针，用于一种LED晶粒点测机点测晶粒电参数，探针包括主体，以及分别与主体首部和尾部相连的双针头结构，为了便于进行点测，节省点测空间，针头与主体之间的夹角为钝角，首部针头和尾部针头的针尖方向相反的。

根据本实用新型，优选的，双针头与主体之间的夹角为110°~130°。

根据本实用新型，优选的，探针的直径为0.3mm~1mm。

根据本实用新型，优选的，首部和尾部的针头长度为3mm到5mm。

根据本实用新型，优选的，为了便于安装，本实用新型的首部针头和尾部针头相对主体旋转角度为70°到180°。

根据以上探针设计，本实用新型提供了一种探针夹具，用于容置探针，设置有安放探针主体的针槽，通过压块将探针固定在针槽中，首部针头从压块的第一侧露出，尾部针头位于压块与第一侧相反的第二侧，尾部针头固定在夹具设置的定位孔中。

另一方面，本实用新型还提供了一种点测装置，用于一种LED晶粒点测机点测晶粒电参数，上述的探针夹具设置于点测装置内部。

本实用新型的优势在于，将探针尾部改成与另一头针尖方向相反的针尖，一根针由原先的使用一次变成可以使用两次，提升了弯针的使用效益。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。此外，附图数据是描述概要，不是按比例绘制。

图1为本实用新型提供的探针结构示意图；

图2为本实用新型组装好探针的夹具示意图；

图3为本实用新型用于将探针固定在点测机上的夹具。

图中示例：100、探针；110、主体；120、首部针头；130、尾部针头；L₁₃₀：尾部针头长度；α：夹角；200、夹具；210：针槽；220、压块；230、定位孔；240、螺纹沉孔。

具体实施方式

以下将结合附图及实施例来详细说明本实用新型的实施方式，借此对本实用新型如何应用技术手段来解决技术问题，并达成技术效果的实现过程能充分理解并据以实施。需要说明的是，只要不构成冲突，本实用新型中的各个实施例以及各实施例中的各个特征可以相互结合，所形成的技术方案均在本实用新型的保护范围之内。

应当理解，本实用新型所使用的术语仅出于描述具体实施方式的目的，而不是旨在限制本实用新型。进一步理解，当在本实用新型中使用术语“包含”、包括时，用于表明陈述的特征、整体、步骤、组件、和/或的存在，而不排除一个或多个其他特征、整体、步骤、组件、和/或它们的组合的存在或增加。