[实用新型]一种液切循环回收装置

说明书

本实用新型公开了一种液切循环回收装置，包括：清洗液槽，连通于清洗液槽的至少一预清洗腔，连通最末位预清洗腔的出口的化学风切腔，连通于预清洗腔和化学风切腔的排风通道，连通于排风通道的出口端的拉西环组，以及连通于拉西环组的后方的多组过滤冷凝组件；经化学风切腔风切后的清洗液汽经排风通道输送至拉西环组改变风向，再经过滤冷凝组件冷凝后清洗液回流至清洗液槽，气体再次循环至化学风切腔重复利用。与现有技术相比，本实用新型的一种液切循环回收装置，其拉西环组、过滤冷凝组件、高压风机以及各管路、控制阀共同实现了清洗液和冷却气体的循环利用，降低了生产成本，同时排放至空气中的气体也符合环保标准。

技术领域

本实用新型涉及清洗装置技术领域，尤其涉及一种液切循环回收装置。

背景技术

随着半导体行业高速发展，产品高度集成化，需求的清洗液体成本越来越贵，在实际生产中，大部分液体会随着排气口排出。液体的过快消耗，会增加公司的运营成本，由于化学清洗液制造成本很高，循环利用液体和节省成本是半导体公司所迫切需要解决的首要问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种液切循环回收装置。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种液切循环回收装置，其包括：清洗液槽，连通于所述清洗液槽的至少一预清洗腔，连通最末位所述预清洗腔的出口的化学风切腔，连通于所述预清洗腔和化学风切腔的排风通道，连通于所述排风通道的出口端的拉西环组，以及连通于所述拉西环组的后方的多组过滤冷凝组件；从清洗液槽输出的清洗液，经所述化学风切腔风切后的清洗液汽经排风通道输送至所述拉西环组改变风向，再经过滤冷凝组件冷凝后清洗液回流至清洗液槽，气体再次循环至化学风切腔重复利用。

其中，所述清洗液槽的腔体内还设有用于对清洗液加热的发热管，以及对清洗液冷却的冷却管。

其中，所述清洗液槽上还设有一用于检测清洗液槽内清洗液的液位高度的液位计。

其中，所述过滤冷凝组件包括：汽液过滤网，以及位于所述汽液过滤网后方的冷凝管。

其中，相邻所述过滤冷凝组件之间设有多孔隔板。

其中，所述冷凝管处还设有冷却水进水管和冷却水出水管。

其中，所述过滤冷凝组件与化学风切腔之间还设有高压风机，所述高压风机将过滤冷凝后的气体输送给化学风切腔内的高压风刀。

其中，所述过滤冷凝组件上还设有排风口，所述排风口上设有气动控制阀。

其中，所述预清洗腔的数量为三，分别依次排列为第一预清洗腔，第二预清洗腔和第三预清洗腔，且所述化学风切腔位于第三预清洗腔后方，所述第一预清洗腔、第二预清洗腔与清洗液槽之间通过第二输送管组件连通，所述第二输送管组件包括一端连通于清洗液槽，另一端分别连通于第一预清洗腔和第二预清洗腔的输液管，以及设于所述输液管上的气动隔膜泵；所述输液管上还设有浓度计。

其中，所述第三预清洗腔与清洗液槽之间通过第一输送管组件连通，所述第一输送管组件包括：一端连通于清洗液槽，另一端连通于第三预清洗腔的管路，以及依次设置于所述管路上的常开阀、立式泵浦和过滤器；其中所述过滤器与清洗液槽之间还连接有回流管，所述回流管上设有常闭阀。

与现有技术相比，本实用新型的一种液切循环回收装置，其拉西环组、过滤冷凝组件、高压风机以及各管路、控制阀共同实现了清洗液和冷却气体的循环利用，降低了生产成本，同时排放至空气中的气体也符合环保标准。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型技术手段，可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其它目的、特征及优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，详细说明如下。

附图说明