[实用新型]一种用于晶体材料的晶型与缺陷的检测装置有效
申请号: | 202020897105.2 | 申请日: | 2020-05-25 |
公开(公告)号: | CN213041754U | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 袁振洲;刘欣宇 | 申请(专利权)人: | 江苏超芯星半导体有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 王佳妹 |
地址: | 225000 江苏省扬州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 晶体 材料 缺陷 检测 装置 | ||
1.一种用于晶体材料的晶型与缺陷的检测装置,其特征在于,包括:
工作面,其上设有工作台,用于放置待检测的晶体;
外罩,呈倒置的U型,其扣盖在所述工作面上并与其形成密闭的空腔;
光源,设置于所述密闭的空腔内,用于直射在所述晶体上;
图像采集器,设置于所述外罩外部顶端且位于所述晶体的上方;和
图像处理设备,设置于所述密闭的空腔外且与所述图像采集器相连接。
2.根据权利要求1所述的用于晶体材料的晶型与缺陷的检测装置,其特征在于,所述密闭的空腔内还设置有晶体移动工具,所述工作面下方设有箱体,所述箱体内设置有真空发生器,所述晶体移动工具通过软管与所述真空发生器连接。
3.根据权利要求2所述的用于晶体材料的晶型与缺陷的检测装置,其特征在于,所述箱体外侧面设置有控制所述真空发生器的开关。
4.根据权利要求1所述的用于晶体材料的晶型与缺陷的检测装置,其特征在于,所述光源通过定型弯管固定在所述工作面上且其能够直射在所述晶体上。
5.根据权利要求1所述的用于晶体材料的晶型与缺陷的检测装置,其特征在于,所述图像采集器通过固定架设置于所述外罩上,所述固定架包括至少两条互相垂直的轨道,从而可以实现晶体在水平平面内的位置移动。
6.根据权利要求5所述的用于晶体材料的晶型与缺陷的检测装置,其特征在于,所述固定架包括两条固定在所述外罩上的Y轨道以及安装在所述Y轨道上的两条X轨道,所述图像采集器设置于所述X轨道上,且能够沿所述X轨道移动,所述X轨道能够沿所述Y轨道移动。
7.根据权利要求1所述的用于晶体材料的晶型与缺陷的检测装置,其特征在于,所述工作台采用半透明材质制成,其下方设置有能够发出白光的强光灯。
8.根据权利要求1所述的用于晶体材料的晶型与缺陷的检测装置,其特征在于,所述外罩由黑色不透光材质制成。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的用于晶体材料的晶型与缺陷的检测装置,其特征在于,所述光源可发出紫外光、可见光或红外光。
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