[实用新型]晶圆搬送机构

权利要求书

1.一种晶圆搬送机构，其特征在于，包括晶圆拾取部件、座体、第一驱动装置和第二驱动装置，所述第一驱动装置包括水平地连接于所述座体的第一导轨以及可滑动地连接于所述第一导轨的第一滑块，所述第二驱动装置包括竖直地连接于所述第一滑块的第二导轨以及可滑动地连接于所述第二导轨的第二滑块，所述晶圆拾取部件连接于所述第二滑块。

2.根据权利要求1所述的晶圆搬送机构，其特征在于，所述第二驱动装置还包括连接部件，所述连接部件包括垂直地相连接的第一连接板和第二连接板，所述第一连接板连接于所述第一滑块，所述第二连接板上设有所述第二导轨。

3.根据权利要求1所述的晶圆搬送机构，其特征在于，所述第一驱动装置还包括第一气缸，所述第一气缸的缸体设于所述座体，所述第一气缸的活塞连接于所述第一滑块。

4.根据权利要求1所述的晶圆搬送机构，其特征在于，所述第二驱动装置还包括第二气缸，所述第二气缸的缸体连接于所述第一滑块，所述第二气缸的活塞连接于所述晶圆拾取部件。

5.根据权利要求4所述的晶圆搬送机构，其特征在于，所述晶圆拾取部件和第二气缸分别位于所述第二导轨的两侧。

6.根据权利要求1所述的晶圆搬送机构，其特征在于，还包括安装部件，所述安装部件包括垂直地相连接的第一安装板和第二安装板，所述第一安装板连接于所述第二滑块，所述第二安装板上开设有安装孔，所述晶圆拾取部件的一端穿设于所述安装孔。

7.根据权利要求1所述的晶圆搬送机构，其特征在于，所述晶圆拾取部件为真空吸盘。

8.根据权利要求2所述的晶圆搬送机构，其特征在于，所述第一连接板上开设有减轻槽孔，所述减轻槽孔沿所述第一连接板的长度方向布置。

9.根据权利要求1所述的晶圆搬送机构，其特征在于，所述座体上设有一个或多个竖直设置的支撑架。

10.根据权利要求3所述的晶圆搬送机构，其特征在于，所述第一气缸为无杆气缸，所述第一气缸和第一导轨并列设置。