[实用新型]一种槽式清洗机

权利要求书

1.一种槽式清洗机，其特征在于，包括箱体和安装组件，所述箱体内限定有用于容纳清洁剂的清洁槽，所述安装组件包括安装板、用于安装晶圆的旋转架和旋转驱动装置，所述旋转驱动装置与所述旋转架均安装在所述安装板上，所述旋转架和所述旋转驱动装置的输出端相连，所述安装板可拆卸安装在所述清洁槽的槽口上。

2.根据权利要求1所述的槽式清洗机，其特征在于，所述安装板的下表面连接有第一连接板和第二连接板，所述旋转架转动安装在所述第一连接板和第二连接板之间。

3.根据权利要求2所述的槽式清洗机，其特征在于，还包括第一旋转件、第二旋转件及用于传递运动的传动件，所述第一连接板和所述第二连接板上分别设有第一连接孔和第二连接孔，所述第一旋转件和第二旋转件分别穿设在所述第一连接孔和所述第二连接孔内，所述旋转架的两侧分别与所述第一旋转件和所述第二旋转件相连，所述第二旋转件通过所述传动件与所述旋转驱动装置相连。

4.根据权利要求3所述的槽式清洗机，其特征在于，所述传动件包括传动杆，所述旋转驱动装置安装在所述安装板的上表面，所述旋转驱动装置的输出端设有一连接盘，所述连接盘上设有一连接凸起，所述传动杆的一端与所述连接凸起相连，所述传动杆的另一端与所述第二旋转件相连。

5.根据权利要求3所述的槽式清洗机，其特征在于，所述旋转架包括第一侧板、第二侧板及设置在所述第一侧板和所述第二侧板之间的锁紧杆，所述第一侧板和所述第二侧板之间设有若干用于安装所述晶圆的安装件。

6.根据权利要求5所述的槽式清洗机，其特征在于，所述第一侧板和所述第二侧板上均外伸设有连接轴，所述连接轴的外侧设有第一连接部，所述第一旋转件和所述第二旋转件上分别设有与所述第一连接部相适配的第二连接部。

7.根据权利要求6所述的槽式清洗机，其特征在于，所述第一连接部为限定于所述连接轴的外侧的安装凸起，所述第二连接部包括设置在所述第一旋转件和所述第二旋转件上的若干连接柱，若干所述连接柱之间限定有用于安装所述安装凸起的卡紧位。

8.根据权利要求6所述的槽式清洗机，其特征在于，所述安装板的下表面还相对设有挂钩组件，所述挂钩组件设置在所述第一连接板和所述第二连接板之间，所述挂钩组件上限定有与所述连接轴相适配的安装位。

9.根据权利要求3所述的槽式清洗机，其特征在于，所述第一连接孔和所述第二连接孔内均设有转动轴承，所述转动轴承套设在所述第一旋转件和第二旋转件上。

10.根据权利要求1所述的槽式清洗机，其特征在于，所述安装板的上表面还设有提手。