[实用新型]氮化硅铺粉压实装置

说明书

本实用新型公开了氮化硅铺粉压实装置，包括坩埚，坩埚顶部设置电动机转动组件，坩埚底部设置驱动电机转动组件，电动机转动组件包括电动机、推杆电机和铺实板，推杆电机和铺实板之间设置压力传感器，压力传感器的检测信号依次送入尖峰消除电路和信号放大保护电路处理，然后经A/D转换后送入控制器中进行数据处理，控制器用于控制推杆电机的工作状态，控制器对压力检测信号实时监控处理，当铺粉压实力度未达到标准时，控制器控制推杆电机输出轴伸长长度进而控制铺粉压实力度大小，从而实现压实力度的自动监控，提升氮化硅铺粉压实效果。

技术领域

本实用新型涉及氮化硅生产设备技术领域，特别是涉及氮化硅铺粉压实装置。

背景技术

氮化硅具有良好的抗热冲击性、抗氧化性、耐高温、耐腐蚀、化学稳定性高、强度高等一系列优异的热物理性能，是一种优良的高温结构材料。硅粉氮化法制备过程中有在坩埚底面铺粉和压实的必要操作，目前主要是采用电动机转动组件和驱动电机转动组件分别带动铺实板和坩埚形成同轴心但不同方向的转动，能够在铺实板和坩埚反向转的过程中对坩埚内各方向的粉体材料进行转动和压实，但是对压力的控制缺乏，无法对铺粉压实力度进行准确监控。

所以本实用新型提供一种新的方案来解决此问题。

实用新型内容

针对上述情况，为克服现有技术之缺陷，本实用新型之目的在于提供氮化硅铺粉压实装置。

其解决的技术方案是：氮化硅铺粉压实装置，包括坩埚，坩埚顶部设置电动机转动组件，坩埚底部设置驱动电机转动组件，所述电动机转动组件包括电动机、推杆电机和铺实板，所述推杆电机和铺实板之间设置压力传感器，所述压力传感器的检测信号依次送入尖峰消除电路和信号放大保护电路处理，然后经A/D转换后送入控制器中进行数据处理，所述控制器用于控制所述推杆电机的工作状态。

进一步的，所述尖峰消除电路包括电阻R1，电阻R1的一端连接所述压力传感器的信号输出端，电阻R1的另一端连接电阻R2、R3、电容C1、C2的一端和二极管VD1的阳极，电阻R2的另一端连接+5V电源，电容C1、电阻R3的另一端接地，电容C2的另一端连接电阻R4的一端，二极管VD1的阴极连接电阻R4的另一端、电感L1的一端和二极管VD2的阴极，电感L1的另一端连接所述信号放大电路的输入端和电容C3的一端，二极管VD2的阳极与电容C3的另一端接地。

进一步的，所述信号放大电路包括运放器U1，运放器U1的同相输入端通过电阻R6连接电阻R5、电容C6的一端，并通过电容C5连接电阻R7、电容C4的一端，电阻R5、电容C4的另一端连接电感L1的另一端，电容C6的另一端接地，电阻R7的另一端连接运放器U1的输出端，运放器U1的反相输入端连接电阻R8、R9的一端，电阻R8的另一端接地，电阻R9的另一端连接运放器U1的输出端。

进一步的，所述信号放大电路还包括二极管VD3、VD4，二极管VD3的阳极与VD4的阴极通过电阻R10连接运放器U1的输出端，并连接电容C7的一端和A/D转换器的输入端，电容C7的另一端接地，A/D转换器的输出端连接所述控制器。

通过以上技术方案，本实用新型的有益效果为：

1.本实用新型采用压力传感器P1实时测量铺粉压实力度，并转换为与力度大小成比例的电信号输出，该电信号首先送入尖峰消除电路中处理，尖峰消除电路采用RC滤波降低外界振动产生的高频噪声，运用二极管滤波原理消除尖峰杂波，同时对大电流信号起到缓冲作用；

2.信号放大保护电路运用陷波器原理降低工频干扰，然后采用二极管钳位电路原理对控制器起到保护作用；

3.控制器对压力检测信号实时监控处理，当铺粉压实力度未达到标准时，控制器控制推杆电机输出轴伸长长度进而控制铺粉压实力度大小，从而实现压实力度的自动监控，提升氮化硅铺粉压实效果。

附图说明

图1为本实用新型尖峰消除电路原理图。