[实用新型]一种带有流量显示的半导体设备分水器

说明书

本实用新型公开了一种带有流量显示的半导体设备分水器，涉及分水器技术领域，针对传统的分水器有一定的故障损坏率，更换整个分水器的工作量也非常大，且分水器通过叶轮的转速来侦测水流大小，但是并无具体的读值，不能满足工程师想要了解水流量的要求的问题，现提出如下方案，包括设备主体、分水器主体和显示表头，所述分水器主体的一端连接有水管，所述分水器主体的另一端与设备主体上的接线扣连接。该装置可以直接读出水流量和温度的读值，以方便工程师的观测和问题处理，且该装置同时配有显示表头，安装在醒目方便观看的位置，工程师可以直接读取到相关的水流和温度信息，且摒弃了原装分水器的叶轮和电路板的功能。

技术领域

本实用新型涉及分水器技术领域，尤其涉及一种带有流量显示的半导体设备分水器。

背景技术

分水器是用于连接各路加热管供、回水的配、集水装置。半导体芯片制造设备中，因制程温度较高，对于环境温度的变化也相当敏感。温度波动太大，有可能会影响到最终的产品良率。由此，对于制程反应腔的冷却水的水流大小和温度都有相当高的要求。

传统的分水器有一定的故障损坏率，如塑料叶轮老化导致读值不准，或者电路板损坏导致工作异常等，更换整个分水器的工作量也非常大，且实现水流侦测功能的分水器，通过叶轮的转速来侦测水流大小，但是并无具体的读值，不能满足工程师想要了解水流量的要求。

实用新型内容

本实用新型提出的一种带有流量显示的半导体设备分水器，解决了传统的分水器有一定的故障损坏率，如塑料叶轮老化导致读值不准，或者电路板损坏导致工作异常等，更换整个分水器的工作量也非常大，且实现水流侦测功能的分水器，通过叶轮的转速来侦测水流大小，但是并无具体的读值，不能满足工程师想要了解水流量的要求的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种带有流量显示的半导体设备分水器，包括设备主体、分水器主体和显示表头，所述分水器主体的一端连接有水管，所述分水器主体的另一端与设备主体上的接线扣连接，所述分水器主体与显示表头之间通过导线连接，且所述显示表头安装在易于观察的外部装置上，所述设备主体的外表面且位于分水器主体的下方设置有托板。

优选的，所述托板靠近设备主体的一端固定连接有连接块，所述设备主体的外表面竖向固定连接有凸条，且所述连接块的一端开设有与凸条相匹配的凸条卡槽。

优选的，所述凸条的一端开设有两个条形穿孔，且两个所述条形穿孔分别贯穿凸条的前后表面。

优选的，所述连接块的内部位于单个条形穿孔的一侧均套接有一个螺钉，所述连接块的内壁开设有与螺钉的端部相匹配的螺纹孔，且所述螺纹孔与螺钉的端部表面螺纹旋合连接。

优选的，所述螺钉的外表面固定套接有圆形抵片，且所述凸条的外表面位于条形穿孔的两侧分布开设有与圆形抵片相匹配的限位卡槽。

优选的，所述凸条的上下两端均固定连接有安装块，所述凸条通过安装块与设备主体的表面螺栓锁紧连接。

与现有的技术相比，本实用新型的有益效果是：该装置可以直接读出水流量和温度的读值，以方便工程师的观测和问题处理，且该装置同时配有显示表头，安装在醒目方便观看的位置，工程师可以直接读取到相关的水流和温度信息，且摒弃了原装分水器的叶轮和电路板的功能，只将分水器作为一个单纯的水流通道，这样就避免了其零件损坏，没有备品更换或者更换工作量大的困扰；也不再受原产国管控零件而无法备货的困扰，通过托板的设计，可以对分水器主体进行上托支撑，提高分水器主体的安装稳定性。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种带有流量显示的半导体设备分水器的正视结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种带有流量显示的半导体设备分水器图1中部分结构的剖视图；

图3为本实用新型提出的一种带有流量显示的半导体设备分水器图2的俯视向连接剖视图。