[实用新型]一种氧化铌靶材有效
| 申请号： | 202020915554.5 | 申请日： | 2020-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN212770921U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 侯俊男;牛中奇 | 申请（专利权）人： | 东莞市兆广电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 东莞市凯粤智华专利商标代理事务所(普通合伙) 44698 | 代理人： | 任文婷 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 铌靶材 | ||
【权利要求书】：
1.一种氧化铌靶材，包括本体(1)，其特征在于：所述本体(1)包括背管(101)，所述背管(101)的表面喷涂有氧化铌层(102)，所述背管(101)的材质为SUS圆管，所述氧化铌层(102)通过等离子喷涂工艺喷涂在背管(101)的表面。
2.根据权利要求1所述的一种氧化铌靶材，其特征在于：所述背管(101)的外径为132.3毫米，所述背管(101)的内径为124.4毫米。
3.根据权利要求1所述的一种氧化铌靶材，其特征在于：所述背管(101)的长度为869.3毫米，所述氧化铌层(102)的长度为785.3毫米。
4.根据权利要求1所述的一种氧化铌靶材，其特征在于：所述本体(1)的直径为143.8毫米，所述氧化铌层(102)的厚度为5.7毫米。
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