[实用新型]一种MEMS电容式开关及电子设备有效
| 申请号： | 202020916623.4 | 申请日： | 2020-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN212322915U | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 孔令成;朱雁青;王超;李杨 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;B81B3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 龙丹丹 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 电容 开关 电子设备 | ||
1.一种MEMS电容式开关，包括衬底、设置在所述衬底表面的介质层、通过锚点架设在所述介质层上方的金属梁、设置于所述介质层表面并与所述金属梁相对的有效电极、设置于所述有效电极周侧的驱动电极以及设置于所述驱动电极与所述金属梁之间的介质柱，其特征在于，所述介质柱竖直方向的刚度小于水平方向的刚度的1/10。
2.根据权利要求1所述的MEMS电容式开关，其特征在于：所述驱动电极包括设置于所述有效电极两侧的第一驱动电极和第二驱动电极，所述介质柱包括设置于所述第一驱动电极朝向所述金属梁的表面的第一介质柱和设置于所述第二驱动电极朝向所述金属梁的表面的第二介质柱。
3.根据权利要求1所述的MEMS电容式开关，其特征在于：所述介质柱沿垂直所述介质层方向切割的截面为非矩形。
4.根据权利要求1所述的MEMS电容式开关，其特征在于：所述介质柱沿垂直所述介质层方向切割的截面包括用于与驱动电极和金属梁抵接的两个端部以及连接于两端部之间的蛇形弯折部。
5.根据权利要求1所述的MEMS电容式开关，其特征在于：所述介质柱沿垂直所述介质层方向切割的截面为具有切角的三角形。
6.根据权利要求1所述的MEMS电容式开关，其特征在于：所述介质柱沿垂直所述介质层方向切割的截面为具有切角的矩形。
7.根据权利要求1所述的MEMS电容式开关，其特征在于：所述介质层及介质柱的材料为氧化硅、氮化硅中任一种。
8.一种电子设备，其特征在于，包括：如权利要求1-7任一项所述的MEMS电容式开关。
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