[实用新型]一种MEMS电容式开关有效
| 申请号： | 202020917609.6 | 申请日： | 2020-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN212587408U | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 孔令成;朱雁青;王超;李杨 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01H36/00 | 分类号： | H01H36/00;B81B3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 龙丹丹 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 电容 开关 | ||
1.一种MEMS电容式开关，包括衬底，设置于所述衬底表面的介质层、通过锚点架设在所述介质层上方的金属梁、设置于所述介质层表面并与所述金属梁相对的有效电极、设置于所述有效电极周侧的驱动电极以及设置于所述驱动电极和所述金属梁之间的介质柱，其特征在于，所述介质柱设置于所述有效电极的周侧，所述介质柱为柔性材质。
2.根据权利要求1所述的MEMS电容式开关，其特征在于：所述介质柱设置于所述驱动电极朝向所述金属梁的表面。
3.根据权利要求1所述的MEMS电容式开关，其特征在于：所述驱动电极包括设置于所述有效电极两侧的第一驱动电极和第二驱动电极，所述介质柱包括设置于所述第一驱动电极朝向所述金属梁表面的第一介质柱和设置于所述第二驱动电极朝向所述金属梁表面的第二介质柱。
4.根据权利要求1-3任一项所述的MEMS电容式开关，其特征在于：所述介质柱的杨氏模量为1×105Pa-1×106Pa。
5.根据权利要求1-3任一项所述的MEMS电容式开关，其特征在于：所述介质柱为有机材料聚二甲基硅氧烷。
6.根据权利要求1-3任一项所述的MEMS电容式开关，其特征在于：所述介质层为氧化硅或氮化硅材质。
7.根据权利要求3所述的MEMS电容式开关，其特征在于：所述金属梁呈平板状，在所述第一驱动电极与所述第二驱动电极的驱动下可抵压所述介质柱并使所述介质柱形变。
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