[实用新型]一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构有效

专利信息
申请号: 202020926126.2 申请日: 2020-05-28
公开(公告)号: CN211828715U 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 申请(专利权)人: 昀智科技(北京)有限责任公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 北京中索知识产权代理有限公司 11640 代理人: 胡大成
地址: 102300 北京市门头*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 适用于 超净间 负载 高精度 水平 运动 结构
【权利要求书】:

1.一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构,包括传动结构和骨架结构,其特征在于,还包括正面保护结构;所述的骨架结构用于固定传动结构和正面保护结构;所述的传动结构置于正面保护结构内;所述的正面保护结构包括密封带(5)、支撑辅助轮(4)和正面板(8);密封带(5)与传动结构固定连接,与支撑辅助轮(4)传动连接;支撑辅助轮(4)固定安装在骨架结构和传动结构上;所述的正面板(8)上设有轨道槽(81);密封带(5)覆盖在轨道槽上。

2.根据权利要求1所述的一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构,其特征在于,所述的轨道槽(81)和密封带(5)各有两个,支撑辅助轮(4)有四个,一个密封带(5)与两个支撑辅助轮(4)传动连接。

3.根据权利要求1所述的一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构,其特征在于,所述的骨架结构包括底部基座(10)、导轨支架(11)、支撑架(12)和从动轮安装架(15),所述的导轨支架(11)、支撑架(12)和从动轮安装架(15)分别固定安装在底部基座(10)上;导轨支架(11)具有第一支架(111)和第二支架(112);支撑架(12)上固定安装支撑辅助轮(4)。

4.根据权利要求3所述的一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构,其特征在于,所述的传动结构包括运动底座(1)、同步带(2)、同步带安装板(18)、电机(3)、减速机(6)、限位防撞块(7)、外部安装板(9)、第一直线导轨(17)、第二直线导轨(13)、从动轮(14)、从动轮稳定轴(16)和防撞块(19);

限位防撞块(7)有两个,分别安装在第一支架(111)的两端;

第一直线导轨(17)固定安装在第一支架(111)的上方水平面上;

第二直线导轨(13)固定安装在第二支架(112)的前方垂直面上;

运动底座(1)具有垂直部分(101)和水平部分(102),垂直部分(101)的内表面与第二直线导轨(13)的滑块固定连接;水平部分(102)的内表面与第一直线导轨(17)的滑块固定连接;垂直部分(101)的侧面与密封带(5)固定连接;水平部分(102)的内表面两端各安装一个防撞块(19);

减速机(6)固定安装在底部基座(10)上,电机(3)固定安装在减速机(6)的背面面板上,电机(3)的主轴与减速机(6)的主动轮固定连接,减速机(6)的正面面板上固定安装支撑辅助轮(4);

同步带(2)的一端与减速机(6)的输出轮传动连接,另一端与从动轮(14)传动连接,中间通过同步带安装板(18)与运动底座(1)的水平部分(102)的内表面固定连接;

从动轮稳定轴(16)固定安装在从动轮安装架(15)上;

从动轮(14)与从动轮稳定轴(16)转动连接;

外部安装板(9)的反面固定端穿过正面板(8)的轨道槽(81)与运动底座(1)固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构,其特征在于,所述的外部安装板(9)的正面设有定位销和/或第一安装孔。

6.根据权利要求3所述的一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构,其特征在于,底部基座(10)设有第二安装孔。

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