[实用新型]一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构有效
申请号: | 202020926126.2 | 申请日: | 2020-05-28 |
公开(公告)号: | CN211828715U | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 | 申请(专利权)人: | 昀智科技(北京)有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京中索知识产权代理有限公司 11640 | 代理人: | 胡大成 |
地址: | 102300 北京市门头*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 超净间 负载 高精度 水平 运动 结构 | ||
1.一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构,包括传动结构和骨架结构,其特征在于,还包括正面保护结构;所述的骨架结构用于固定传动结构和正面保护结构;所述的传动结构置于正面保护结构内;所述的正面保护结构包括密封带(5)、支撑辅助轮(4)和正面板(8);密封带(5)与传动结构固定连接,与支撑辅助轮(4)传动连接;支撑辅助轮(4)固定安装在骨架结构和传动结构上;所述的正面板(8)上设有轨道槽(81);密封带(5)覆盖在轨道槽上。
2.根据权利要求1所述的一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构,其特征在于,所述的轨道槽(81)和密封带(5)各有两个,支撑辅助轮(4)有四个,一个密封带(5)与两个支撑辅助轮(4)传动连接。
3.根据权利要求1所述的一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构,其特征在于,所述的骨架结构包括底部基座(10)、导轨支架(11)、支撑架(12)和从动轮安装架(15),所述的导轨支架(11)、支撑架(12)和从动轮安装架(15)分别固定安装在底部基座(10)上;导轨支架(11)具有第一支架(111)和第二支架(112);支撑架(12)上固定安装支撑辅助轮(4)。
4.根据权利要求3所述的一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构,其特征在于,所述的传动结构包括运动底座(1)、同步带(2)、同步带安装板(18)、电机(3)、减速机(6)、限位防撞块(7)、外部安装板(9)、第一直线导轨(17)、第二直线导轨(13)、从动轮(14)、从动轮稳定轴(16)和防撞块(19);
限位防撞块(7)有两个,分别安装在第一支架(111)的两端;
第一直线导轨(17)固定安装在第一支架(111)的上方水平面上;
第二直线导轨(13)固定安装在第二支架(112)的前方垂直面上;
运动底座(1)具有垂直部分(101)和水平部分(102),垂直部分(101)的内表面与第二直线导轨(13)的滑块固定连接;水平部分(102)的内表面与第一直线导轨(17)的滑块固定连接;垂直部分(101)的侧面与密封带(5)固定连接;水平部分(102)的内表面两端各安装一个防撞块(19);
减速机(6)固定安装在底部基座(10)上,电机(3)固定安装在减速机(6)的背面面板上,电机(3)的主轴与减速机(6)的主动轮固定连接,减速机(6)的正面面板上固定安装支撑辅助轮(4);
同步带(2)的一端与减速机(6)的输出轮传动连接,另一端与从动轮(14)传动连接,中间通过同步带安装板(18)与运动底座(1)的水平部分(102)的内表面固定连接;
从动轮稳定轴(16)固定安装在从动轮安装架(15)上;
从动轮(14)与从动轮稳定轴(16)转动连接;
外部安装板(9)的反面固定端穿过正面板(8)的轨道槽(81)与运动底座(1)固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构,其特征在于,所述的外部安装板(9)的正面设有定位销和/或第一安装孔。
6.根据权利要求3所述的一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构,其特征在于,底部基座(10)设有第二安装孔。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造