[实用新型]一种真空气流控制系统

说明书

本实用新型公开一种真空气流控制系统，其连接于分析仪器的真空室外，包括：气体流速控制装置以及空气过滤系统；当抽真空时，气体由真空室经由四通至气体流速控制装置后由所述真空泵抽出；当泄压时，气体由所述空气过滤系统经由四通到达所述真空室。本申请在保持分析仪器现有结构的优点下直接外接于真空室，降低进入和流出真空室内的气体的流速，并且保证真空室内的真空度和洁净度，从而起到保护真空室内电器元件的作用。

技术领域

本实用新型涉及分析仪器领域，更具体地说，是一种应用于分析仪器的真空室上的真空气流控制系统。

背景技术

在分析仪器行业，尤其是能谱仪，需要在真空环境下进行样品检测。目前常见的方式为直接将真空泵和真空室相连。真空室内部安装有电气元件及薄膜等，在抽真空时气体流速增大，会将真空室内的颗粒带起，颗粒会撞击电气元件和薄膜的表面，从而将其破坏。同时在泄压时直接通过管道将大气引入真空室，此时空气中的粉尘等杂质会进入真空室内，跟随气流运动，有可能会撞击电气元件及薄膜的表面。

以上所述两个现象，在目前的分析仪器中为普遍存在的现象，严重影响了仪器的使用寿命，同时给修护带来了不便。

实用新型内容

本申请提出一种真空气流控制系统，其目的在于解决现有分析仪器真空室内因抽/泄真空时导致气流增大以及颗粒增多而损坏仪器的问题。

为解决上述技术问题，本申请采用下述技术手段：

一种真空气流控制系统，其连接于分析仪器的真空室，包括：气体流速控制装置，其包括：第一三通，该第一三通的一端口连接真空泵，另外两个端口分别通过管路连接一第一针型阀以及一电磁阀，所述电磁阀控制所述第一三通的开口；第二三通，其一端口连接所述电池阀，其另一端口连接所述第一针型阀，且所述第二三通的第三端口连接一四通；所述电磁阀通过一时间控制装置连接并控制；空气过滤系统，其包括过滤器、第二针型阀及管道阀门，其中：所述第二针型阀与所述过滤器相连后通过管路连接所述四通，在所述管路上依次设有转接头以及所述管道阀门；所述四通的一端口连接所述真空室；当抽真空时，气体由真空室经由四通至气体流速控制装置后由所述真空泵抽出；当泄压时，气体由所述空气过滤系统经由四通到达所述真空室。

较佳的是，所述四通上设有一真空压力表。

较佳的是，所述管道阀门为不少于一个的电磁阀门。

较佳的是，所述气体流速控制装置设于一固定的密封装置内。

较佳的是，所述密封装置更包括一电源或电源转接器。

较佳的是，所述真空泵和所述空气过滤系统与所述电源或所述电源转接器电线连接。

较佳的是，所述第一三通和所述第二三通分别通过一伸出所述密封装置的法兰与所述真空泵和所述四通对接。

由于采用上述技术方案，本申请在保持分析仪器现有结构的优点下直接外接于真空室，降低进入和流出真空室内的气体的流速，并且保证真空室内的真空度和洁净度，从而起到保护真空室内电器元件的作用。

附图说明

图1为本申请的原理示意图；

图2为本申请的密封装置内的剖面示意图。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。

本申请的真空气流控制系统直接以一四通通过法兰连接于分析仪器的真空室上，保留了原有结构的优势，并不需要做太大的变动。参见图1所示，为本申请的原理示意图。本申请主要包括两个部分：气体流速控制装置A以及空气过滤系统B。气体流速控制装置A主要用于抽真空时对气体流速进行控制，减缓流速。而空气过滤系统B主要用于泄压时进行空气的过滤以及泄压流速的控制。具体结构请结合图1和图2所示。