[实用新型]一种具有微流通道的阵列波导光栅传感器

权利要求书

1.一种具有微流通道的阵列波导光栅传感器，其特征在于：由宽带光源(6)、输入波导(1)、输入自由传输区(2)、阵列波导(3)、微流通道(8)、输出自由传输区(4)、输出波导(5)、光电探测器阵列(7)构成；从宽带光源(6)发出的光依次经过输入波导、输入自由传输区、带有微流通道的阵列波导、输出自由传输区后不同波长的光聚焦到各个输出波导，并由光电探测器阵列接收，获得不同波长的光功率。

2.根据权利要求1所述的一种具有微流通道的阵列波导光栅传感器，其特征在于：所述的宽带光源(6)和光电探测器阵列(7)，工作波段是1500nm至1600nm。

3.根据权利要求1所述的一种具有微流通道的阵列波导光栅传感器，其特征在于：所述的微流通道(8)包含了进样通道(10)、主体通道层(11)、出样通道(12)、底部结构(13)；所述的进样通道(10)和主体通道层(11)相连，主体通道层(11)和出样通道(12)相连。

4.根据权利要求1所述的一种具有微流通道的阵列波导光栅传感器，其特征在于：所述的输入自由传输区(2)和输出自由传输区(4)的结构为罗兰圆结构，长度为3500微米，所述的阵列波导(3)数目为205，阵列波导间距为8微米，所述的输出波导(5)数目为16。

5.根据权利要求1所述的一种具有微流通道的阵列波导光栅传感器，其特征在于：所述的输入波导(1)、输入自由传输区(2)、阵列波导(3)、微流通道(8)、输出自由传输区(4)、输出波导(5)均基于二氧化硅波导结构，波导宽度和高度均为6微米。