[实用新型]环形光源生成装置

权利要求书

1.一种环形光源生成装置，用于将激光干涉仪中激光器发射的激光转换生成可以抑制相干噪声的环形光源，经过所述激光干涉仪的准直镜头后照射到被测物上，其特征在于，包括：

沿着光轴方向从所述激光器到所述被测物之间依次排布的扩束模块、第三透镜以及双远心镜头，

其中，所述扩束模块用于将所述激光的直径放大并形成平行光，

所述第三透镜为环形透镜，由截面透镜绕所述光轴旋转360°形成，该截面透镜为凸面朝向所述激光器的平凸透镜，用于将所述平行光转换生成第一环形光，

所述双远心镜头用于将所述第一环形光转换生成作为所述环形光源的第二环形光，具有沿着所述光轴方向从所述第三透镜到所述被测物之间依次排布的物侧镜组、孔径光阑以及像侧镜组，所述孔径光阑靠近所述像侧镜组，

所述物侧镜组的后焦点位于所述孔径光阑的中心处，所述像侧镜组的前焦点位于所述孔径光阑的中心处。

2.根据权利要求1所述的环形光源生成装置，其特征在于：

其中，所述截面透镜为非球面透镜，其像方数值孔径为0.012，焦距为167mm。

3.根据权利要求1所述的环形光源生成装置，其特征在于：

其中，所述环形透镜的厚度为2mm，

所述环形透镜具有透明部分和不透明部分，所述不透明部分的直径为2mm，所述透明部分的外径为10mm，所述截面透镜的直径为4mm。

4.根据权利要求1所述的环形光源生成装置，其特征在于：

其中，所述物侧镜组具有沿着所述光轴方向从所述第三透镜到所述孔径光阑之间依次排布的第四透镜、第五透镜以及第六透镜，

所述像侧镜组具有沿着所述光轴方向从所述孔径光阑到所述被测物之间依次排布的第七透镜、第八透镜以及第九透镜，

所述第四透镜为双凹透镜，所述第五透镜为凸面朝向所述被测物的平凸透镜，所述第六透镜为双凸透镜，所述第七透镜为双凹透镜，所述第八透镜和所述第九透镜为双凸透镜。

5.根据权利要求4所述的环形光源生成装置，其特征在于：

其中，所述第四透镜、所述第五透镜、所述第六透镜、所述第七透镜、所述第八透镜以及所述第九透镜均采用牌号为K9的光学玻璃。

6.根据权利要求1所述的环形光源生成装置，其特征在于：

其中，所述双远心镜头的放大率为-0.13，像方数值孔径为0.095，物方数值孔径为0.012，物高为3mm。

7.根据权利要求1所述的环形光源生成装置，其特征在于：

其中，所述扩束模块具有靠近所述激光器的第一透镜和远离所述激光器的第二透镜，所述第一透镜为负透镜，所述第二透镜为正透镜。

8.根据权利要求1所述的环形光源生成装置，其特征在于：

其中，所述扩束模块的放大倍率为5倍，所述平行光的直径为10mm。