[实用新型]一种具有除静电除尘功能的光刻设备

权利要求书

1.一种具有除静电除尘功能的光刻设备，所述光刻设备包括：传输机构（1）、投影机构（3）、投影支架（4）和机箱（5），所述传输机构（1）、所述投影机构（3）和所述投影支架（4）都位于所述机箱（5）的内部，所述传输机构（1）从所述机箱（5）的前端延伸至后端，所述投影机构（3）固定在所述投影支架（4）上，所述投影支架（4）位于所述机箱（5）的后端；其特征在于：所述光刻设备还包括：除静电机构（6），所述除静电机构（6）位于所述机箱（5）的内部，并且所述除静电机构（6）位于所述投影支架（4）的前侧；所述机箱（5）包括：进料口（51）、出料口（52）和两个通风口（53），所述进料口（51）位于所述机箱（5）的前端，所述出料口（52）位于所述机箱（5）的后端，两个通风口（53）分别位于所述机箱（5）的两侧。

2.根据权利要求1所述的具有除静电除尘功能的光刻设备，其特征在于：所述除静电机构（6）包括：喷射头（61）、进气筒（62）和离子管道（63），所述进气筒（62）与所述喷射头（61）的上端连通，所述离子管道（63）与所述喷射头（61）的侧面连通，所述离子管道（63）与离子发生器连接。

3.根据权利要求2所述的具有除静电除尘功能的光刻设备，其特征在于：所述除静电机构（6）还包括：除静电气缸（64）、除静电滑块（65）、除静电轨道（66）和除静电支架（67），所述喷射头（61）固定在所述除静电滑块（65）上所述，除静电滑块（65）与所述除静电气缸（64）的活塞杆连接，所述除静电气缸（64）的活塞杆沿上下方向延伸，所述除静电滑块（65）沿上下方向可移动地设置在所述除静电轨道（66）上，所述除静电轨道（66）位于所述除静电支架（67）的侧面。

4.根据权利要求2所述的具有除静电除尘功能的光刻设备，其特征在于：所述喷射头（61）的下端比所述投影机构（3）的下端位于更低的位置。

5.根据权利要求1所述的具有除静电除尘功能的光刻设备，其特征在于：所述除静电机构（6）为两个，两个除静电机构（6）沿左右方向相互分离。

6.根据权利要求1或5所述的具有除静电除尘功能的光刻设备，其特征在于：所述通风口（53）比所述除静电机构（6）位于更靠近所述机箱（5）后端的位置，并且所述通风口（53）比所述投影机构（3）位于更靠近所述机箱（5）前端的位置。