[实用新型]一种具有投影微调机构的光刻设备

权利要求书

1.一种具有投影微调机构的光刻设备，具有除静电功能的光刻设备，所述光刻设备包括：传输机构（1）、投影机构（3）、投影支架（4）和机箱（5），所述传输机构（1）、所述投影机构（3）和所述投影支架（4）都位于所述机箱（5）的内部，所述传输机构（1）从所述机箱（5）的前端延伸至后端，所述投影机构（3）固定在所述投影支架（4）上，所述投影支架（4）位于所述机箱（5）的后端；其特征在于：所述投影支架（4）包括：支架主体（41）和投影微调机构，所述投影微调机构固定在所述支架主体（41）的上端，所述投影微调机构包括：纵向滑轨（42）和横向滑轨（43），所述横向滑轨（43）沿前后方向可移动地设置在所述纵向滑轨（42）上，所述投影机构（3）沿左右方向可移动地设置在所述横向滑轨（43）上。

2.根据权利要求1所述的具有投影微调机构的光刻设备，其特征在于：所述支架主体（41）由石材形成。

3.根据权利要求1所述的具有投影微调机构的光刻设备，其特征在于：所述纵向滑轨（42）为两个，两个纵向滑轨（42）沿左右方向相互分离，所述横向滑轨（43）沿前后方向可移动地设置在两个纵向滑轨（42）上。

4.根据权利要求1所述的具有投影微调机构的光刻设备，其特征在于：所述纵向滑轨（42）包括：纵向轨道（421）、纵向滑轮组件（422）和纵向连接件（423），所述纵向滑轮组件（422）沿前后方向可移动地设置在所述纵向轨道（421）中，所述纵向连接件（423）的上端与所述纵向滑轮组件（422）形成固定，所述纵向连接件（423）的下端与所述横向滑轨（43）形成固定。

5.根据权利要求1所述的具有投影微调机构的光刻设备，其特征在于：所述横向滑轨（43）包括：横向轨道（431）、横向滑轮组件（432）和和横向连接件（433），所述横向滑轮组件（432）沿左右方向可移动地设置在所述横向轨道（431）中，所述横向连接件（433）的上端与所述横向滑轮组件（432）形成固定，所述横向连接件（433）的下端与所述投影机构（3）形成固定。

6.根据权利要求5所述的具有投影微调机构的光刻设备，其特征在于：所述投影机构（3）包括：多个投射光源（31）和多个支撑杆（32），所述投射光源（31）固定在所述支撑杆（32）上，多个投射光源（31）呈矩阵式排列，所述横向连接件（433）的下端与所述支撑杆（32）形成固定。