[实用新型]一种可调节气压的吸附装置

权利要求书

1.一种可调节气压的吸附装置，包括贴合腔、作用于贴合腔的第一抽气泵、位于贴合腔内的吸附治具和作用于吸附治具的第二抽气泵，所述吸附治具具有连通第二抽气泵的抽气通道；其特征在于，该吸附装置还包括用于调节吸附治具与贴合腔之间气压差的调节机构，该调节机构包括气压作用下在封闭位和开启位之间移动的活动塞以使吸附治具内部气压不大于贴合腔。

2.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述调节机构还包括连接头和排气盖，所述连接头和排气盖固定设置并在两者之间以形成供活动塞往复移动的内腔；所述连接头内部具有连通抽气通道和内腔的连接通道。

3.根据权利要求2所述的吸附装置，其特征在于，所述排气盖上设有连接内腔和贴合腔的气孔，以排出吸附治具内的气体或通过相对高压状态的贴合腔将活动塞推动至封闭位。

4.根据权利要求3所述的吸附装置，其特征在于，所述气孔包括设于排气盖轴向上的第一气孔和设于排气盖径向上的第二气孔；所述气体从贴合腔经第一气道进入内腔已将活动塞推动至封闭位上，所述气体从内腔经第二气道进入贴合腔以排出吸附治具内的高压气体。

5.根据权利要求2所述的吸附装置，其特征在于，所述排气盖通过螺纹旋接或密封胶胶结在抽气通道上。

6.根据权利要求2所述的吸附装置，其特征在于，所述封闭位位于连接头上，且该封闭位与活动塞的外形相适配设置，以在活动塞位于封闭位时阻止贴合腔的气体进入抽气通道。

7.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述调节机构通过螺纹旋接或密封胶胶结在抽气通道上。

8.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述活动塞为球体、圆锥体、长方体或多种规则体的组合体。

9.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述吸附治具还包括从顶面延伸至抽气通道的吸附气道，以在第二抽气泵工作时被吸附件可稳定地被吸附在吸附面上。

10.根据权利要求1至9任一项所述的吸附装置，其特征在于，所述吸附装置还包括控制器，以控制第一吸附泵和第二吸附泵工作。