[实用新型]一种同轴频率调制MEMS陀螺仪有效
| 申请号： | 202020945300.8 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN212674170U | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 黄向向;杨敏;卢卡·卢斯基;关健;孙斯佳 | 申请（专利权）人： | 罕王微电子（辽宁）有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 113000 辽宁省抚顺*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 同轴 频率 调制 mems 陀螺仪 | ||
【权利要求书】：
1.一种同轴频率调制MEMS陀螺仪，其特征在于：所述的同轴频率调制MEMS陀螺仪，包括硅弹簧(1)、锚点(2)、内部质量块(3)、外部质量块(4)、感应梳齿状结构(5)、共振微调(6)；
其中：共振微调(6)设置在内部质量块(3)的四个侧面以及外部质量块(4)的四个侧面上；四个感应梳齿状结构(5)设置在内部质量块(3)的周围，分别通过硅弹簧(1)与内部质量块(3)连接；
四个感应梳齿状结构(5)和四个锚点(2)间隔布置成环状，之间通过硅弹簧(1)连接，四个感应梳齿状结构(5)分别通过硅弹簧(1)与布置在外部质量块(4)的四个侧面上的共振微调(6)连接。
2.按照权利要求1所述的同轴频率调制MEMS陀螺仪，其特征在于：所述的内部质量块(3)为长方体块状结构。
3.按照权利要求1所述的同轴频率调制MEMS陀螺仪，其特征在于：所述的外部质量块(4)为环状结构。
4.按照权利要求1所述的同轴频率调制MEMS陀螺仪，其特征在于：所述的内部质量块(3)和外部质量块(4)的质量一样。
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