[实用新型]一种延长去PSG药液寿命的装置有效
申请号: | 202020948729.2 | 申请日: | 2020-05-29 |
公开(公告)号: | CN211929448U | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
发明(设计)人: | 殷召柱;任军利;马章彦 | 申请(专利权)人: | 徐州谷阳新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 贺翔 |
地址: | 221300 江苏省徐州市邳*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 延长 psg 药液 寿命 装置 | ||
本实用新型公布一种延长去PSG药液寿命的装置,包括主槽、副槽、电导率测试仪、PLC模块、至少两个电磁阀、至少两个气动阀;其中,主槽的管道中安装有电导率测试仪,主槽与副槽相连,副槽上通过第一气动阀连通到两恒压罐,第一恒压罐的进水口通过第一气动阀连接到纯水管路上;第二恒压罐的进水口通过第二地动阀连接到PSG药液管路上;第一气动阀的气管连接到第一电磁阀上,第一电磁阀的信号线电连接至PLC模块上;第二气动阀的气管连接到第二电磁阀上,第二电磁阀的信号线电连接PLC模块;所述电导率测试仪的信号线电连接PLC模块。本实用新型理论上可以将去PSG链试机的药液寿命延长,同时能杜绝在正常生产中突然出现批量性过刻或漏刻的现象发生。
技术领域
本实用新型涉及新型MWT太阳能电池组件技术领域,尤其是一种延长去PSG药液寿命的方法。
背景技术
PSG是磷硅玻璃的意思,在太阳能电池片的扩散工艺后,硅片表面会形成一层PSG,必须去除。
目前市场中的太阳能去PSG链试机药液寿命两周~四周,通过加装电导率测试仪监控药液浓度,根据电导仪数值监控药液浓度,药液电导率与设置定有偏差时,自行补充药液或DI水调整电导率。
实用新型内容
为了解决上述背景技术中的问题,本实用新型的目的是提供一种延长去PSG药液寿命的装置,理论上可以将去PSG链试机的药液寿命延长,同时能杜绝在正常生产中突然出现批量性过刻或漏刻的现象发生。
本实用新型一种延长去PSG药液寿命的装置,所述装置包括主槽、副槽、电导率测试仪、PLC模块、至少两个电磁阀、至少两个气动阀;其中,
所述主槽的管道中安装有电导率测试仪,所述主槽与副槽相连,所述副槽上设有两恒压罐,第一恒压罐的进水口通过第一气动阀连接到纯水管路上;
第二恒压罐的进水口通过第二气动阀连接到PSG药液管路上;
所述第一气动阀的气管连接到第一电磁阀上,所述第一电磁阀的信号线电连接至PLC模块上;所述第二气动阀的气管连接到第二电磁阀上,所述第二电磁阀的信号线电连接PLC模块;所述电导率测试仪的信号线电连接PLC模块;
两个恒压罐均通过电磁阀向副槽内添加水或PSG药液。
进一步的,第一、第二恒压罐内部均设有液位计,所述液位计的信号线电连接PLC模块。
作为一种优选,所述液位计为磁致伸缩液位计。
更进一步的,所述副槽采用PVDF材质管道与主槽进行连接,在所述主槽与副槽之间形成闭环回路,副槽内的药液对主槽内的药液进行补充、替换。
有益效果:
通过电导率测试仪监控药液浓度的变化,当药液浓度超过设定值,软件上通过此次改造加装的恒压罐自动补加一定量的纯水;当药液浓度低于设定值,软件上通过原有的药液恒压罐自动补加一定量的药液。采用本实用新型所提供的方案,理论上可以将去PSG链试机的药液寿命延长,同时能杜绝在正常生产中突然出现批量性过刻或漏刻的现象发生。
附图说明
图1为本实用新型一种延长去PSG药液寿命的装置的结构示意图;
图中,1-PLC模块,2-第一电磁阀,3-第一气动阀,4-第二电磁阀,5-第二气动阀,6-主槽,7-电导率测试仪,8-第一恒压罐,9-第二恒压罐,10-液位计。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型进行详细说明:
实施例1
如图1所示,本实用新型一种延长去PSG药液寿命的装置,所述装置包括主槽6、副槽、电导率测试仪7、PLC模块1、至少两个电磁阀、至少两个气动阀;其中,
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造