[实用新型]一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架

权利要求书

1.一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，其特征在于：包括上支撑块(1)、中间支撑块(2)和下支撑块(3)，上支撑块(1)和下支撑块(3)通过中间支撑块(2)连接；

所述上支撑块(1)包括上支撑板(11)、第一中间支撑板(12)、支撑坩埚板(13)和上支架连接螺栓(14)，上支撑板(11)的上端面与第一中间支撑板(12)的下端面接触，第一中间支撑板(12)的上端面与支撑坩埚板(13)的下端面接触，上支撑板(11)、第一中间支撑板(12)和支撑坩埚板(13)通过上支架连接螺栓(14)固定连接；

所述中间支撑块(2)包括多个支撑立板(21)，多个支撑立板(21)通过正反方向互插式安装形成中间支撑块(2)；

所述下支撑块(3)包括下支撑连接板(31)、第二中间支撑板(32)、下支撑板(33)和下支架连接螺栓(34)，下支撑连接板(31)的下端面与第二中间支撑板(32)的上端面接触，第二中间支撑板(32)的下端面与下支撑板(33)的上端面接触，下支撑连接板(31)、第二中间支撑板(32)和下支撑板(33)通过下支架连接螺栓(34)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，其特征在于：所述上支撑板(11)为圆形薄板，上支撑板(11)上开有多个通孔，上支撑板(11)上开有方孔。

3.根据权利要求1所述的一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，其特征在于：所述第一中间支撑板(12)为圆形薄板，第一中间支撑板(12)上开有多个通孔。

4.根据权利要求1所述的一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，其特征在于：所述支撑坩埚板(13)为圆形薄板，支撑坩埚板(13)的中心开有圆形通孔，支撑坩埚板(13)上开有多个通孔。

5.根据权利要求1所述的一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，其特征在于：所述支撑立板(21)为方形板，支撑立板(21)的顶部均匀开有多个方形槽。

6.根据权利要求1所述的一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，其特征在于：所述下支撑连接板(31)为圆形薄板，下支撑连接板(31)的中心开有方形孔，下支撑连接板(31)上开有多个通孔。

7.根据权利要求1所述的一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，其特征在于：所述第二中间支撑板(32)为圆形薄板，第二中间支撑板(32)上开有多个圆形通孔。

8.根据权利要求1所述的一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，其特征在于：所述下支撑板(33)为圆形薄板，下支撑板(33)的中心开有圆形通孔，下支撑板(33)上开有多个通孔。

9.根据权利要求1所述的一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，其特征在于：所述上支撑块(1)由3片上支撑板(11)、7片第一中间支撑板(12)和2片支撑坩埚板(13)依次安装组成，上支撑板(11)、第一中间支撑板(12)和支撑坩埚板(13)通过叠加方式安装，并通过上支架连接螺栓(14)固定；

所述下支撑块(3)由3片下支撑连接板(31)、6片第二中间支撑板(32)和7片下支撑板(33)依次安装组成，下支撑连接板(31)、第二中间支撑板(32)和下支撑板(33)的安装方式为叠加方式安装，并通过下支架连接螺栓(34)固定。