[实用新型]一种托盘上料装置

权利要求书

1.一种托盘上料装置，所述托盘上料装置用于将半导体晶片输送至大转盘下方，包括托盘承载装置和托盘移动装置，其特征在于，所述托盘移动装置包括横向移动总成、纵向移动总成和托盘支架；所述纵向移动总成设置在横向移动总成上，并且纵向移动总成能够在横向移动总成上做横向平移；所述托盘支架设置在纵向移动总成上，并且托盘支架能够在纵向移动总成上做纵向平移；所述托盘承载装置设置在托盘支架上。

2.根据权利要求1所述托盘上料装置，其特征在于，所述横向移动总成包括横向滑轨、横向丝杆、横向伺服电机；所述纵向移动总成与横向丝杆连接，通过横向伺服电机驱动丝杆，使得纵向移动总成在横向滑轨上平移；所述纵向移动总成包括纵向滑轨、纵向丝杆、纵向伺服电机；所述托盘支架与纵向丝杆连接，通过纵向伺服电机驱动纵向丝杆，使得托盘支架在纵向滑轨上平移。

3.根据权利要求1所述托盘上料装置，其特征在于，所述托盘承载装置包括承载板和夹持装置；所述夹持装置包括水平伸缩装置、竖直伸缩装置、夹板、活动板、夹板安装架；所述活动板通过竖直伸缩装置设置在承载板的背面，活动板能够在竖直伸缩装置作用下做上下往复运动；所述活动板上设有滑孔；所述夹板安装架上设有滑杆；所述滑杆设置在滑孔内；所述夹板设置在夹板安装架上；所述水平伸缩装置设置在活动板上；所述水平伸缩装置与夹板安装架连接，用于推动夹板安装架在水平方向做水平往复运动。

4.根据权利要求1所述托盘上料装置，其特征在于，沿与横向移动总成和纵向移动总成平行的方向分别设有横向导线管和纵向导线管；所述横向导线管和纵向导线管用于安装电源线缆和信号线缆。

5.根据权利要求1所述托盘上料装置，其特征在于，所述横向移动总成和纵向移动总成各设有一个与自身平行的辅助滑轨。

6.根据权利要求3所述托盘上料装置，其特征在于，所述夹持装置还包括安装桥；所述安装桥设置在承载板背面，且安装桥与承载板之间预留空隙；所述活动板设置在空隙内；安装桥中部设有一缺口，用于安装竖直伸缩装置；所述安装桥上设有至少两个定位杆；所述定位杆穿过活动板与承载板连接，用于辅助定位活动板，使之保持水平。

7.根据权利要求3所述托盘上料装置，其特征在于，所述夹持装置还包括水平定位支架；所述水平定位支架通过滑杆与承载板连接；所述水平定位支架上设有通孔；所述夹板安装架与夹板连接杆固定连接；所述夹板连接杆穿过通孔设置。