[实用新型]一种RCZ法拉制镓掺杂单晶硅的导流筒结构

权利要求书

1.一种RCZ法拉制镓掺杂单晶硅的导流筒结构，且特征在于：包括盛有液态硅（7）的石英坩埚（8），所述液态硅（7）的液面上设有外导流筒（6），外导流筒（6）为纵向布置的管状结构，其底部开口小于上部开口，所述外导流筒（6）内置与其结构相同的内导流筒（3），外导流筒（6）与内导流筒（3）之间为高效保温毡（5），外导流筒（6）的上边缘与内导流筒（3）的上边缘之间填充有导流筒固毡环（4），所述内导流筒（3）内安装有水冷屏（2），所述水冷屏（2）的内径与单晶硅棒（1）的直径的比为1.1-1.35。

2.根据权利要求1所述的一种RCZ法拉制镓掺杂单晶硅的导流筒结构，且特征在于：本专利中的单晶硅棒（1）成型尺寸是8.5吋或9吋。

3.根据权利要求1所述的一种RCZ法拉制镓掺杂单晶硅的导流筒结构，且特征在于：外导流筒（6）的外径与单晶硅棒（1）的直径的比为2.0-2.6。