[实用新型]运动解耦的二维扫描微镜装置

权利要求书

1.一种运动解耦的二维扫描微镜装置，其特征在于，包括微镜(10)、闭合线圈(20)以及与所述微镜(10)间隔设置的磁场发生装置(30)、第一导磁柱(40)、第二导磁柱(50)，所述微镜(10)包括反射镜(11)、内框(12)和外框(13)，所述反射镜(11)通过一对Y转轴与所述内框(12)连接，所述内框(12)通过一对垂直于所述Y转轴的X转轴与所述外框(13)连接；所述闭合线圈(20)设于所述内框(12)的一侧表面，所述第一导磁柱(40)、所述第二导磁柱(50)均设于所述闭合线圈(20)正下方，且在所述内框(12)上的正投影分别与所述X转轴、所述Y转轴所在的直线相交；所述第一导磁柱(40)和所述第二导磁柱(50)分别用于在所述磁场发生装置(30)的作用下驱动通电的所述闭合线圈(20)发生偏转。

2.根据权利要求1所述的运动解耦的二维扫描微镜装置，其特征在于，所述第一导磁柱(40)、所述第二导磁柱(50)各为两个，两个所述第一导磁柱(40)分别设置在所述X转轴的轴向两端，两个所述第二导磁柱(50)分别设置在所述Y转轴的轴向两端，且两个所述第一导磁柱(40)产生的磁场方向相反，两个所述第二导磁柱(50)产生的磁场方向相反。

3.根据权利要求2所述的运动解耦的二维扫描微镜装置，其特征在于，所述第一导磁柱(40)和/或所述第二导磁柱(50)的横截面为圆形、椭圆形或多边形。

4.根据权利要求2所述的运动解耦的二维扫描微镜装置，其特征在于，所述第一导磁柱(40)、所述第二导磁柱(50)在所述闭合线圈(20)上的正投影位于所述闭合线圈(20)内。

5.根据权利要求2所述的运动解耦的二维扫描微镜装置，其特征在于，还包括载板(60)，所述磁场发生装置(30)、所述第一导磁柱(40)、所述第二导磁柱(50)固定在所述载板(60)上。

6.根据权利要求2所述的运动解耦的二维扫描微镜装置，其特征在于，所述闭合线圈(20)固定在所述内框(12)上背离所述第一导磁柱(40)和所述第二导磁柱(50)的一面。

7.根据权利要求6所述的运动解耦的二维扫描微镜装置，其特征在于，所述内框(12)表面开设有凹槽，所述闭合线圈(20)嵌设于所述凹槽内。

8.根据权利要求2所述的运动解耦的二维扫描微镜装置，其特征在于，所述闭合线圈(20)的两个自由端分别自所述X转轴引出至所述外框(13)。

9.根据权利要求2～8任一所述的运动解耦的二维扫描微镜装置，其特征在于，所述磁场发生装置(30)包括两块L形的磁铁，每块L形的磁铁的磁极相反，其中一块L形的磁铁设于一个所述第一导磁柱(40)和一个所述第二导磁柱(50)的外围并为二者提供磁场，另一块L形的磁铁设于另一个所述第一导磁柱(40)和另一个所述第二导磁柱(50)的外围并为二者提供磁场，所有的所述第一导磁柱(40)和所述第二导磁柱(50)均设于两块L形的磁铁围成的区域内。

10.根据权利要求2～8任一所述的运动解耦的二维扫描微镜装置，其特征在于，所述磁场发生装置(30)包括呈L形排列的两块磁铁，两块所述磁铁分别设于一个所述第一导磁柱(40)、一个所述第二导磁柱(50)的外围以为对应的所述第一导磁柱(40)、所述第二导磁柱(50)提供磁场。