[实用新型]一种化学运送装置

说明书

本实用新型提出一种化学运送装置，包括：车体、化学容置槽与切换阀组件。化学容置槽设置于所述车体上，用以容置有料品，其顶部设置有至少一填充孔与外围设置有固定架；切换阀组件，设置于化学容置槽外腔侧边，切换阀组件包含阀门开关、连接管与感测器，通过阀门开关用以切换化学容置槽的料品流体输出与输入，且通过感测器测量料品流入与流出量。

技术领域

本实用新型是关于一种化学运送装置，尤指一种用以完成化学品容置槽(Chemical containing tank)的填充与回收抽取作业的化学运送装置。

背景技术

半导体集成电路的制程包括薄膜沈积、扩散、微影蚀刻、离子植入等基本半导体制程；并且，在制作半导体集成电路的过程中，必须使用到大量的化学品来满足制程的需求。特别说明的是，半导体集成电路的制造必须时时刻刻保持生产流程不中断，因此，这些化学品的供应也必须被维持不中断。基于这样的理由，集成电路制造厂在进行厂区规划时，便会特别地规画至少一化学槽厂区，以作为设置各种大型化学品容置槽使用。

目前，化学品供货商是利用大型化学品槽车装载完成制作的各种化学品。可想而知，集成电路制造厂于进行各类化学品的补充的时候，是令化学品槽车直接驶至化学槽厂区，进而直接地将化学品补充至指定的大型化学品容置槽之中，完成化学品的补充作业。然而，半导体制程所使用的化学品通常具有可燃性、毒性、氧化、腐蚀性等高危险性质，一旦在进行化学品补充作业的过程中发生操作人员的作业疏忽或系统故障等情况，则极有可能造成化学品泄漏或相异化学品之间产生化学反应，所引发之后果不仅是庞大的财务损失，更有可能造成作业人员的伤亡与环境污染。

由上述说明可知，槽车作业的操作安全具有极高的危险性，因此，对于集成电路制造厂而言，能安全的进行化学品槽的填充与抽取是非常重要的。有鉴于此，本实用新型的创作人极力加以研究创作，而终于研发完成本实用新型的一种化学运送装置。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种化学运送装置，能安全且有效率的进行化学品槽的填充与抽取。

为了达成上述本实用新型的主要目的，本实用新型的创作人是提供所述化学运送装置的一实施例，其中，包括：车体、化学容置槽与切换阀组件。化学容置槽设置于所述车体上，用以容置有料品，其顶部设置有至少一填充孔与外围设置有固定架；切换阀组件，设置于化学容置槽外腔侧边，切换阀组件包含阀门开关、连接管与感测器，通过阀门开关用以切换化学容置槽的料品流体输出与输入，且通过感测器测量料品流入与流出量。

所述的化学运送装置，其中，所述料品为为一化学流体或一化学废品。

所述的化学运送装置，其中，所述化学流体可为下列任一者：化学液体或化学气体。

所述的化学运送装置，其中，所述切换阀组件包含一出液管与一接液件，所述出液管与所述连接管连接，所述接液件装设于所述出液管与连接管上，用以承装泄漏出的料品。

所述的化学运送装置，其中，所述切换阀组件更连接有一驱动装置。

所述的化学运送装置，其中，所述出液管连接一流体容置槽。

所述的化学运送装置，其中，所述出液管连接一阀门保护装置。

所述的化学运送装置，其中，所述化学容置槽、所述切换阀组件、所述流体容置槽上分别设置有一料品信息标签、一槽阀信息标签与一容置槽信息标签。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是显示本实用新型的一种化学运送装置的示意图；