[实用新型]一种用于真空镀膜的挂载工装有效
申请号: | 202020960297.7 | 申请日: | 2020-05-29 |
公开(公告)号: | CN212505049U | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 郑亮;李鸿飞 | 申请(专利权)人: | 江苏特丽亮镀膜科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/34 |
代理公司: | 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 | 代理人: | 张悦 |
地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 真空镀膜 工装 | ||
本实用新型涉及一种用于真空镀膜的挂载工装;其特征在于:包括设置在转盘上的底板、围绕溅射装置设置的立柱、围绕所述立柱设置的顶板、设置在相邻所述立柱之间的挂架和挂置产品的挂件;所述立柱设置在所述底板上;所述顶板设置在所述立柱上远离所述底板的一端;所述挂件并列设置在所述挂架上。解决了现有方案造成的产品进行真空镀膜时产品会产生晃动严重影响产品的真空镀膜质量和挂架为一体式拆装较为困难等问题。
技术领域
本实用新型涉及挂载工装,具体涉及一种用于真空镀膜的挂载工装。
背景技术
一般的,真空镀膜是指在真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结与产品表面而形成薄膜的一种方法。在电子产品的加工领域,采用真空镀膜是较为常见的生产工艺。现有方案产品在真空镀膜时,产品会产生晃动严重影响产品的真空镀膜质量。如何解决这个问题变得至关重要。
现有的方案,采用圆柱形挂架设置在转盘上,围绕挂架并列设置挂钩,将产品挂置在挂钩上。这样的方案存在以下问题:(1)产品进行真空镀膜时,产品会产生晃动,严重影响产品的真空镀膜质量;(2)挂架为一体式,拆装较为困难。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型公开了一种用于真空镀膜的挂载工装,以解决现有技术中产品进行真空镀膜时产品会产生晃动严重影响产品的真空镀膜质量和挂架为一体式拆装较为困难等问题。
本实用新型所采用的技术方案如下:
一种用于真空镀膜的挂载工装;
包括设置在转盘上的底板、围绕溅射装置设置的立柱、围绕所述立柱设置的顶板、设置在相邻所述立柱之间的挂架和挂置产品的挂件;所述立柱设置在所述底板上;所述顶板设置在所述立柱上远离所述底板的一端;所述挂件并列设置在所述挂架上。
进一步的技术方案为:所述立柱包括围绕所述底板设置的立件和设置在所述立件上的立杆;所述立件上开设有第一立槽;所述立杆嵌入所述第一立槽内;所述立杆嵌入所述顶板;所述立杆靠近所述挂架的一侧开设有第二立槽;所述挂架嵌入所述第二立槽内。
进一步的技术方案为:所述立杆嵌入所述第一立槽内的一端开设有固定槽;所述固定槽内设置有第一弹性装置和固定所述立杆的限位件;第一立槽内开设有限位槽;所述第一弹性装置向外推动所述限位件,所述限位件嵌入所述限位槽内。
进一步的技术方案为:所述挂架上并列开设有挂槽;所述挂件挂置在所述挂槽内。
进一步的技术方案为:所述挂槽内设置有第二弹性装置和压紧所述挂件的压件;所述压件相对设置在所述挂槽内的两侧;所述第二弹性装置向外推动所述压件。
进一步的技术方案为:所述挂件挂置在所述挂架的一端设置有第三弹性装置和压紧所述挂架的第一压板;所述第三弹性装置拉动所述第一压板靠近所述挂架。
进一步的技术方案为:所述挂件挂置所述产品的一端设置有第四弹性装置和压紧所述产品的第二压板;所述第四弹性装置拉动所述第二压板靠近所述产品。
进一步的技术方案为:所述底板为环形;所述顶板为环形;所述挂架为弧形;所述挂件为Z字形。
本实用新型的有益效果如下:本实用新型设计了一种用于真空镀膜的挂载工装采用挂件挂置产品。采用第二弹性装置推动压件固定挂件。用于真空镀膜的挂载工装带来了如下效果:(1)通过限位件使得立杆可以牢靠的固定在立件上,使得立杆可以将挂架固定住;(2)立杆、顶板和底板为可拆卸安装,使得用于真空镀膜的挂载工装拆装方便;(3)通过挂槽和压件可以将挂件固定住,避免挂件产生松动;(4)通过第一压板可以将挂件牢靠的固定在挂架上;(5)通过第二压板可以将产品牢靠的固定在挂件上,避免产品的晃动提高了镀膜质量。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
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