[实用新型]一种加热装置及拉晶设备

权利要求书

1.一种加热装置，应用于拉晶设备，所述拉晶设备具有炉体，其特征在于，所述加热装置包括：

用于设在所述炉体的炉壁上的至少一个微波发生器；

用于设在所述炉体内的微波振荡器，每个所述微波发生器与所述微波振荡器配合；

用于将微波能量转换为热能的坩埚件，所述坩埚件设在所述微波振荡器内；所述微波振荡器具有用于将所述微波发生器产生的微波馈至坩埚件外壁的多个馈波孔。

2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述微波振荡器包括具有中空腔体的环状结构，所述环状结构的内侧壁靠近所述坩埚件，所述环状结构的外侧壁靠近所述微波发生器，所述坩埚件设在所述环状结构的环内区域；其中，

每个所述微波发生器与所述中空腔体连通，多个所述馈波孔开设在所述环状结构的内侧壁，多个所述馈波孔与所述中空腔体连通。

3.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，多个所述馈波孔在所述坩埚件外壁形成的馈波区域均匀分布。

4.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，各个所述馈波孔在所述坩埚件外壁形成的馈波区域不同，相邻两个所述馈波孔在所述坩埚件外壁形成的馈波区域轮廓接合；其中，

所述环状结构的壁厚为100mm～150mm；和/或，

相邻两个所述馈波孔的轴间距为5mm～10mm；和/或，

至少一个所述馈波孔的孔径为5mm～10mm。

5.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，多个所述馈波孔均匀的设在所述环状结构的内侧壁。

6.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述环状结构的外侧壁具有与所述中空腔体连通的至少一个导通孔，所述加热装置还包括与各个所述微波发生器连接的导波管，所述导波管通过至少一个所述导通孔与所述中空腔体连通。

7.根据权利要求6所述的加热装置，其特征在于，每个所述导通孔对应一个所述馈波孔，每个所述导通孔与对应所述馈波孔同轴。

8.根据权利要求1～7任一项所述的加热装置，其特征在于，所述微波振荡器的材质为微波反射材质，所述微波反射材质包括钼、不锈钢中的一种或多种；和/或，

所述坩埚件包括均设在所述微波振荡器内的外坩埚和内坩埚，所述内坩埚设在所述外坩埚内；所述外坩埚为以电阻损耗方式吸波的坩埚；所述外坩埚的材质为碳化硅、氧化锆、石墨中的一种或多种。

9.一种拉晶设备，其特征在于，包括权利要求1～8任一项所述加热装置。

10.根据权利要求9所述的拉晶设备，其特征在于，所述拉晶设备还包括位于所述微波振荡器与所述坩埚件之间的保温体，所述保温体的材质为透波材质；其中，

所述保温体包括均设在所述微波振荡器内的保温毡和保温筒，所述保温毡设在所述保温筒的外壁，所述保温毡位于所述微波振荡器与所述保温筒之间。