[实用新型]一种图形化蓝宝石衬底

权利要求书

1.一种图形化蓝宝石衬底，其特征在于，包括采用蓝宝石材料且图形尺寸为底宽0.45-9.9um、高度0.3-10um的圆锥形的衬底（1）；所述衬底（1）为圆锥形且锥部向上，所述衬底（1）从锥部向下依次包括覆膜段（11）、中段（12）、联结段（13），所述覆膜段（11）的上表面贴覆有氮化铝材料制成纳米级厚度的覆膜（2），所述覆膜（2）位于所述中段（12）的上方并悬空设置呈桥梁状；所述衬底（1）有多个且呈阵列分布，相邻的圆锥形的衬底（1）与所述覆膜（2）之间设有凹槽（3）。

2.根据权利要求1所述的一种图形化蓝宝石衬底，其特征在于，所述覆膜（2）的厚度范围为5nm-1μm。

3.根据权利要求1所述的一种图形化蓝宝石衬底，其特征在于，所述衬底（1）根据需求形式的不同包括多种形式的阵列分布。

4.根据权利要求1所述的一种图形化蓝宝石衬底，其特征在于，所述衬底（1）还包括位于所述中段（12）下方的联结段（13），所述联结段（13）之间相互连接呈板状。

5.根据权利要求4所述的一种图形化蓝宝石衬底，其特征在于，所述凹槽（3）位于所述联结段（13）的上方，且凹槽（3）的截面呈梯形。

6.根据权利要求5所述的一种图形化蓝宝石衬底，其特征在于，所述凹槽（3）的梯形截面中的顶边长度为0.05-2μm。

7.根据权利要求1所述的一种图形化蓝宝石衬底，其特征在于，所述覆膜（2）包括与所述覆膜段（11）连接的圆锥槽（21），所述圆锥槽（21）的槽深小于8μm。