[实用新型]一种双抛机载具清洗设备有效

专利信息
申请号: 202020969129.4 申请日: 2020-06-01
公开(公告)号: CN212494301U 公开(公告)日: 2021-02-09
发明(设计)人: 祝斌;刘姣龙;裴坤羽;武卫;刘建伟;刘园;孙晨光;王彦君;由佰玲;常雪岩;杨春雪;谢艳;刘秒;张宏杰;吕莹;徐荣清 申请(专利权)人: 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
主分类号: B08B3/12 分类号: B08B3/12;B08B3/10;B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67;B24B29/02;B24B41/06
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 300384 天津市滨海*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 机载 清洗 设备
【权利要求书】:

1.一种双抛机载具清洗设备,其特征在于,至少具有用于清洗所述载具的清洗单元、用于承载并控制所述载具移动的升降单元、用于加速清洗的超声单元和用于控制所述清洗单元和所述升降单元运行的控制单元,其中,所述升降单元被置于所述清洗单元一侧并使所述载具被置入所述清洗单元或从所述清洗单元中被移出;所述超声单元分设于所述清洗单元内侧和外侧;所述清洗单元、所述升降单元和所述超声单元均与所述控制单元连接。

2.根据权利要求1所述的一种双抛机载具清洗设备,其特征在于,所述清洗单元包括架体和置于所述架体内侧且上端开口设置的清洗槽,在所述清洗槽内侧设有用于固定所述载具并使所述载具悬空设置的固定工装。

3.根据权利要求2所述的一种双抛机载具清洗设备,其特征在于,所述固定工装一端可固定放置若干并行设置的所述载具,所述固定工装另一端与所述升降单元连接。

4.根据权利要求2或3所述的一种双抛机载具清洗设备,其特征在于,所述清洗槽设有与其上端口相适配的槽盖;在所述清洗槽下端设有排水口,所述清洗槽底部为朝所述排水口一侧设置的倾斜面。

5.根据权利要求4所述的一种双抛机载具清洗设备,其特征在于,在所述清洗槽底部设有若干加热棒,用于对所述清洗槽内的清洗剂进行加热并使所述清洗槽内清洗剂温度恒定。

6.根据权利要求2-3、5任一项所述的一种双抛机载具清洗设备,其特征在于,所述升降单元具有滑轨、与所述滑轨并行设置的丝杠、与所述丝杠相适配的滑块以及用于驱动所述滑块移动的驱动电机,所述滑块与所述固定工装连接,所述驱动电机驱动所述滑块带动载有所述载具的所述固定工装在所述滑轨上并沿所述滑轨高度方向移动。

7.根据权利要求6所述的一种双抛机载具清洗设备,其特征在于,所述控制单元单元和置于所述架体一侧并与所述升降单元错开设置。

8.根据权利要求2-3、5、7任一项所述的一种双抛机载具清洗设备,其特征在于,所述超声单元具有超声振板、超声发生器和超声换能器,所述超声振板置于相对设置的所述清洗槽内壁上,并与所述载具并行设置;所述超声发生器置于所述架体外侧;所述超声换能器对称设置在所述超声振板上并均朝所述载具方向设置。

9.根据权利要求8所述的一种双抛机载具清洗设备,其特征在于,所述超声振板与所述清洗槽侧壁之间还设有密封条,所述密封条与所述超声振板结构相适配。

10.根据权利要求9所述的一种双抛机载具清洗设备,其特征在于,还具有用于控制清洗剂进出所述清洗槽的液位控制单元,所述液位控制单元置于所述清洗槽中靠近所述清洗槽上端口处;所述超声单元和所述液位控制单元均与所述控制单元连接。

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