[实用新型]一种靶材冷却背板及磁控溅射镀膜设备有效
| 申请号： | 202020969648.0 | 申请日： | 2020-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN212925153U | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;龚祖光 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 冷却 背板 磁控溅射 镀膜 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种靶材冷却背板，其特征在于，所述靶材冷却背板包括底板和盖板，所述底板包括冷却通道，所述盖板在相对于所述冷却通道的位置设置凸台，所述冷却通道包括进口和出口，所述进口和出口均开设在所述底板的底面上。
2.根据权利要求1所述的靶材冷却背板，其特征在于，所述凸台和所述冷却通道的装配间隙为0.05-0.15mm。
3.根据权利要求1所述的靶材冷却背板，其特征在于，所述冷却通道的宽度为10-50mm。
4.根据权利要求1所述的靶材冷却背板，其特征在于，所述冷却通道的深度为5-12mm。
5.根据权利要求1所述的靶材冷却背板，其特征在于，所述凸台的凸出厚度为2-5mm。
6.根据权利要求1所述的靶材冷却背板，其特征在于，所述底板的主体厚度为18-45mm。
7.根据权利要求1所述的靶材冷却背板，其特征在于，所述盖板的主体厚度为6-15mm。
8.根据权利要求1所述的靶材冷却背板，其特征在于，所述靶材冷却背板的外部形状为长方形、圆形或三角形中的任意一种。
9.一种磁控溅射镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的靶材冷却背板。
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