[实用新型]压环装置有效
| 申请号： | 202020974352.8 | 申请日： | 2020-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN212610989U | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 刘良宏;肖文;庞博;张海涛 | 申请（专利权）人： | 无锡吴越半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/38 |
| 代理公司： | 六安市新图匠心专利代理事务所(普通合伙) 34139 | 代理人： | 朱小杰 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种压环装置，其特征在于，包括:
托盘，所述托盘呈柱形，用于放置衬底；
压环，所述压环为套接于所述托盘的环形结构，其上端设有用于压紧所述衬底边缘的环形压紧部。
2.如权利要求1所述的压环装置，其特征在于，所述托盘侧表面与所述压环内侧面设有对应的联接螺纹，所述压环通过螺纹旋转压紧所述衬底。
3.如权利要求1所述的压环装置，其特征在于，包括卡箍，所述托盘放置于所述卡箍内部，所述卡箍内侧面与所述压环外侧面设有对应的联接螺纹，所述压环通过螺纹旋转压紧所述衬底。
4.如权利要求2所述的压环装置，其特征在于，还包括底座，所述底座上设置有多个所述托盘用以放置衬底。
5.如权利要求1～4任一所述的压环装置，其特征在于，所述压环厚度为0.5mm～5mm。
6.如权利要求1～4任一所述的压环装置，其特征在于，所述压环的环形压紧部具有向下的倾斜角度，所述倾斜角度为30～60°。
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