[实用新型]一种半导体IC芯片的除尘装置有效

专利信息
申请号: 202020975670.6 申请日: 2020-06-02
公开(公告)号: CN212883912U 公开(公告)日: 2021-04-06
发明(设计)人: 李俊 申请(专利权)人: 深圳市三合微科技有限公司
主分类号: B08B5/02 分类号: B08B5/02;B08B13/00;B08B15/04
代理公司: 深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585 代理人: 钟斌
地址: 518000 广东省深圳市龙华*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 ic 芯片 除尘 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体IC芯片的除尘装置,包括第一箱体(1),其特征在于:所述第一箱体(1)的顶部栓接有第二箱体(2),所述第一箱体(1)的内部栓接有两个滑轨(3),所述滑轨(3)的内部滑动连接有滑块(4),所述滑块(4)的正面栓接有移动块(5),所述滑轨(3)的正面栓接有固定块(6),所述第一箱体(1)的一侧栓接有压力箱(7),所述压力箱(7)的顶部栓接有加压泵(8),所述加压泵(8)的加压管与压力箱(7)连通,所述压力箱(7)的一侧连通有弹簧管(9),所述弹簧管(9)的另一端连通有喷枪(10),所述第二箱体(2)的内部栓接有抽风机(11),所述抽风机(11)的底部连通有连接管(12),所述连接管(12)的另一端贯穿至第一箱体(1)的内部并套接有漏斗(13),所述抽风机(11)的排风管螺纹连接有收尘袋(14)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体IC芯片的除尘装置,其特征在于:所述压力箱(7)的正面栓接有压力表(15),所述压力箱(7)的一侧栓接有限位扣(16),所述限位扣(16)的一侧与喷枪(10)卡接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体IC芯片的除尘装置,其特征在于:所述第一箱体(1)底部的两侧均栓接有万向轮(17),所述万向轮(17)安装有锁止器。

4.根据权利要求1所述的一种半导体IC芯片的除尘装置,其特征在于:所述滑轨(3)的一侧栓接有限位螺栓(18),所述限位螺栓(18)的一端贯穿至滑轨(3)的内部与滑块(4)螺纹连接,所述滑轨(3)的一侧开设有与限位螺栓(18)相适配的通槽。

5.根据权利要求1所述的一种半导体IC芯片的除尘装置,其特征在于:所述第一箱体(1)的正面通过合页铰接有第一箱门(19),所述第一箱门(19)的正面栓接有透明板(20)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体IC芯片的除尘装置,其特征在于:所述第二箱体(2)的正面通过合页铰接有第二箱门(21),所述第二箱门(21)的正面开设有若干个透气孔(22)。

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