[实用新型]一种单晶炉炉筒清扫装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉炉筒清扫装置，包括主板以及清洗盘，所述主板底部的靠两侧位置均固定连接有固定杆，所述清洗盘顶部开设有空腔，所述固定杆的底部固定连接有中板，所述主板底部的靠中间位置固定连接有往复电机，所述往复电机通其位于底部的输出端固定连接有丝杆。该单晶炉炉筒清扫装置，通过水箱、丝杆、清洗盘、卡块、活动套以及伸缩管的设计，使得本装置具有高效的清洁功能，能够快速的对炉筒的内壁进行清扫，且本装置采用机械作业替代人工作业，不仅提高了清扫炉筒的效率，更为企业减少了人工成本，更为使用者本装置的工人降低了劳动强度，为使用者提供便利，提高了本装置的实用性，满足了使用者的使用需求。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体为一种单晶炉炉筒清扫装置。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响。其中温度主要决定能否成晶，而速度将直接影响到晶体的内在质量，而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。温度分布合适的热场，不仅单晶生长顺利，而且品质较高；如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量，情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。

单晶炉的炉筒在加工后需要进行清扫。然而，现有炉筒的清扫方式都是人工进行清扫，采用人工清扫不仅清扫炉筒的效率低下，更增加了人工成本，且工人的劳动强度也较高，已经不能满足使用者的使用需求。为此，我们提出了一种单晶炉炉筒清扫装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶炉炉筒清扫装置，以解决上述背景技术中提出现有炉筒的清扫方式都是人工进行清扫，采用人工清扫不仅清扫炉筒的效率低下，更增加了人工成本，且工人的劳动强度也较高，已经不能满足使用者使用需求的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶炉炉筒清扫装置，包括主板以及清洗盘，所述主板底部的靠两侧位置均固定连接有固定杆，所述清洗盘顶部开设有空腔，所述固定杆的底部固定连接有中板，所述主板底部的靠中间位置固定连接有往复电机，所述往复电机通其位于底部的输出端固定连接有丝杆，所述丝杆的底部以及贯穿中板和清洗盘并延伸至清洗盘的外部，所述丝杆的靠顶部位置套设有活动套，所述活动套与丝杆螺纹连接，所述主板的顶部固定连接有水箱，所述水箱两侧额靠底部位置均连通排水管，所述固定杆的前表面固定连接有水泵，所述排水管的底部贯穿主板且与水泵的顶部连通，所述水泵通过其位于底部开设的出水口连通有伸缩管，所述伸缩管底部贯穿中板并延伸至其外部，所述主板的两侧均固定连接有横向杆，所述横向杆的顶部螺纹连接有螺纹杆。

优选的，所述往复电机采用的型号为57BYGH301，所述往复电机通过电源线与外接电源电性连接。

优选的，所述活动套的两侧均固定连接有焊接杆，两个焊接杆相背的一侧均与清洗盘的内壁固定连接。

优选的，所述水泵采用的型号为DP-160S，所述水泵通过电源线与外接电源电性连接。

优选的，所述焊接杆的固定连接有连接杆，所述连接杆的顶部与伸缩管固定连接。

优选的，所述螺纹杆的底部贯穿横向杆并延伸至其内部，所述螺纹杆的底部固定连接有卡块。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该单晶炉炉筒清扫装置，通过水箱、丝杆、清洗盘、卡块、活动套以及伸缩管的设计，使得本装置具有高效的清洁功能，能够快速的对炉筒的内壁进行清扫，且本装置采用机械作业替代人工作业，不仅提高了清扫炉筒的效率，更为企业减少了人工成本，更为使用者本装置的工人降低了劳动强度，为使用者提供便利，提高了本装置的实用性，满足了使用者的使用需求。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；