[实用新型]一种芯片加工用多工位吸盘夹具

权利要求书

1.一种芯片加工用多工位吸盘夹具，包括纵向支撑板（1），其特征在于：所述纵向支撑板（1）的左侧壁上焊接有加工平台（2），所述纵向支撑板（1）的左侧壁上还焊接有内齿圈（3），所述内齿圈（3）的内部设置有中心齿轮（4），所述中心齿轮（4）的顶端固定连接有联动杆（5），所述联动杆（5）的端部固定有从动齿（6），所述纵向支撑板（1）的左侧壁上固定有电机（7），所述电机（7）的输出端固定有主动齿（8），所述内齿圈（3）的内壁啮合连接有行星齿轮（9），所述行星齿轮（9）的内部固定连接有吸盘壳体（10），所述吸盘壳体（10）的内壁顶端固定有电动伸缩杆（11），所述电动伸缩杆（11）的底部伸缩端固定连接有真空盘（12），所述真空盘（12）的底端中心处固定有吸嘴（13），所述真空盘（12）的顶端左侧连接有波纹管（14），所述吸盘壳体（10）的顶端固定有微型真空泵（15），所述微型真空泵（15）左侧壁的抽气嘴上连接有真空管（16），所述真空管（16）贯穿吸盘壳体（10），且延伸至吸盘壳体（10）内与波纹管（14）连接。

2.根据权利要求1所述的一种芯片加工用多工位吸盘夹具，其特征在于：所述内齿圈（3）的底端固定连接有行星齿轮限位挡圈（17），且行星齿轮（9）的底端与行星齿轮限位挡圈（17）的顶端接触。

3.根据权利要求1所述的一种芯片加工用多工位吸盘夹具，其特征在于：所述纵向支撑板（1）的右侧壁上固定有蓄电池组（18），且蓄电池组（18）通过导线分别与电机（7）、电动伸缩杆（11）和微型真空泵（15）电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种芯片加工用多工位吸盘夹具，其特征在于：所述内齿圈（3）内呈环形等距的形式设置有四个行星齿轮（9），且四个行星齿轮（9）啮合连接在内齿圈（3）与中心齿轮（4）之间。

5.根据权利要求1所述的一种芯片加工用多工位吸盘夹具，其特征在于：所述从动齿（6）与主动齿（8）均为锥型齿轮，且从动齿（6）与主动齿（8）为相互啮合传动连接。

6.根据权利要求1所述的一种芯片加工用多工位吸盘夹具，其特征在于：所述吸盘壳体（10）的形状为圆柱体，所述真空盘（12）为嵌入在吸盘壳体（10）底端内部，且真空盘（12）的直径与吸盘壳体（10）的内径相等。