[实用新型]一种用于掩膜版的烘烤夹具及烘烤系统

权利要求书

1.用于掩膜版的烘烤夹具，其特征在于，包括壳体(1)，壳体(1)内设置有与掩膜版(2)尺寸匹配的通槽(11)，通槽(11)内设置有用于支撑掩膜版(2)的衬台(101)；壳体(1)的背面设置有定位槽(12)。

2.如权利要求1所述的用于掩膜版的烘烤夹具，其特征在于，所述通槽(11)为长方形，通槽(11)的宽度与掩膜版的宽度匹配，壳体(1)上设置有用于限制掩膜版(2)在衬台(101)上滑动的限位机构(13)。

3.如权利要求2所述的一种用于掩膜版的烘烤夹具，其特征在于，所述限位机构(13)包括设置在壳体(1)上的限位槽(131)和布置在限位槽(131)内的L形限位块(132)，所述限位块(132)延伸至衬台(101)上方，限位块(132)通过螺栓(133)与壳体(1)相连。

4.如权利要求3所述的用于掩膜版的烘烤夹具，其特征在于，所述螺栓(133)为沉头螺栓。

5.如权利要求3所述的用于掩膜版的烘烤夹具，其特征在于，所述限位块(132)由铁氟龙制成。

6.如权利要求2所述的用于掩膜版的烘烤夹具，其特征在于，所述通槽(11)的宽度为800mm，长度为1200mm。

7.如权利要求1所述的用于掩膜版的烘烤夹具，其特征在于，安装在所述通槽(11)内的掩膜版(2)的表面与壳体(1)的表面齐平。

8.如权利要求1所述的用于掩膜版的烘烤夹具，其特征在于，所述定位槽(12)为八个。

9.一种烘烤系统，包括加载机、加热机和传送机(4)，加热机包括加热板(31)和布置在加热板(31)上可伸缩的顶柱(32)，其特征在于，还包括如权利要求1～8任意一项所述的用于掩膜版的烘烤夹具，所述烘烤夹具布置在加热板(31)上。