[实用新型]一种长条加热器生产工装

说明书

本发明涉及一种长条加热器生产工装，包括吊具、支撑杆和U形挂件，吊具和支撑杆相连接，且支撑杆设置在吊具的下部，吊具上开设有第一通孔，反应炉旋转杆贯穿第一通孔，将长条加热器生产工装固定在反应炉中；连接螺杆贯穿支撑杆上的第二通孔和U形挂件上的第三通孔，并且连接螺杆的两端均设置有螺母，从而将两个U形挂件对称固定在支撑杆的两侧；待涂覆PBN涂层的长条加热器的两个电极分别固定在U形挂件开口端的两个壁上。本实用新型采用两个U形挂件来悬挂长条加热器，避免了单边悬挂带来的侧偏问题，保证了加热器PBN涂层的均匀性；采用锥形螺杆悬挂长条加热器电极孔的方式，有效避免了加热器的变形问题。

技术领域

本实用新型涉及一种长条加热器生产工装，属于化学气相沉积技术领域。

背景技术

目前，为保证容器可以批量的进行加热，加热器通常会做的很长。加热器通常是石墨材质，为保证加热器的使用安全，通常会在加热器的表面涂覆一层热解氮化硼(PBN)涂层，用以保护石墨的长条加热器。因石墨长条加热器长度较长，易发生变形，普通静止方式涂覆的长条加热器一方面变形严重，易损伤，另一方面涂层的均匀性较差，涂层薄的地方有漏电的风险，影响石墨长条加热器的安全使用，故亟需寻求一种长条加热器生产工装，可以降低长条加热器在涂覆PBN的过程中变形风险，同时保证长条加热器整体的涂层均匀性。

发明内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种长条加热器生产工装。本实用新型提供的长条加热器生产工装能够保证加热器PBN涂层的均匀性，有效避免加热器在涂覆PBN涂层产生的变形问题。

本实用新型的技术方案为：

一种长条加热器生产工装，包括吊具、支撑杆和U形挂件，吊具和支撑杆相连接，且所述支撑杆设置在吊具的下部，

所述吊具上开设有第一通孔，反应炉旋转杆贯穿第一通孔，将长条加热器生产工装固定在反应炉中；

所述支撑杆上设置有第二通孔，所述U形挂件的U形开口朝下，所述U形挂件的U形底部开设有第三通孔，连接螺杆贯穿支撑杆上的第二通孔和U形挂件上的第三通孔，并且连接螺杆的两端均设置有螺母，从而将两个U形挂件对称固定在支撑杆的两侧；

待涂覆PBN涂层的长条加热器的两个电极分别固定在U形挂件开口端的两个壁上。

本实用新型中，长条加热器生产工装通过反应炉旋转杆固定到反应炉中，避免长条加热器涂覆时长条加热器产生变形严重，损伤长条加热器。通过两个U形挂件来悬挂长条加热器，避免了单边悬挂带来的侧偏问题，保证了加热器PBN涂层的均匀性；另外，采用U形挂件，U形挂件的中间位置开口，有利于反应气体在靠近加热器电极处位置流通，气体分布的更加均匀，保证了加热器PBN涂层的均匀性。

本实用新型使用时，两个U形挂件开口向下，连接螺杆贯穿支撑杆的第二通孔和两个U形挂件的U形底部开设有第三通孔，并使用螺母将两个U形挂件固定在支撑杆的两侧；将待涂覆PBN涂层的长条加热器的两个电极分别固定在U形挂件开口端的两个壁上；将反应炉旋转杆贯穿所述吊具上开设有第一通孔，将长条加热器生产工装固定在反应炉的内部。

根据本实用新型优选的，U形挂件开口端的两个壁上均设置有锥形螺杆，将长条加热器的电极固定在U形挂件上。能够有效避免了加热器的变形问题。

根据本实用新型优选的，吊具为圆柱体。

根据本实用新型优选的，支撑杆的下部对称设置有台阶，第二通孔开设在所述台阶上，所述U形挂件固定在台阶上。通过设置台阶起到固定挂件的作用，防止挂件偏移，方便工装的组装。

本发明的有益效果为：

1.本实用新型采用两个U形挂件来悬挂长条加热器，避免了单边悬挂带来的侧偏问题，保证了加热器PBN涂层的均匀性。

2.本实用新型采用锥形螺杆悬挂长条加热器电极孔的方式，有效避免了加热器的变形问题。