[实用新型]一种可调节的工艺腔室终点检测探头的固定装置

权利要求书

1.一种可调节的工艺腔室终点检测探头的固定装置，该工艺腔室包括主反应腔，电极组件，顶针升降机构，腔盖，耦合窗，进气喷嘴，线圈，射频匹配器；所述的主反应腔的上端设有腔盖，主反应腔的腔内底部设有电极组件，电极组件的下方设有顶针升降机构，电极组件上放置晶圆；腔盖的上部设有耦合窗，耦合窗内设置进气喷嘴，进气喷嘴位于电极组件的正上方；耦合窗上设有线圈，线圈与射频匹配器相连；其特征在于：位于主反应腔的侧壁开设有通孔，通孔外侧设有观察窗，位于主反应腔的外侧壁设有用于放置探头及调节探头角度的调节座。

2.根据权利要求1所述的可调节的工艺腔室终点检测探头的固定装置，其特征在于：所述的调节座包括敞口部，平板部，固定筒；所述的敞口部布置在平板部上；所述的探头布置在固定筒内，所述的敞口部内为贯通平板部的筒腔结构；筒腔结构的内壁设有支撑固定筒的凸起，筒腔结构的侧壁上设有若干个圆孔，圆孔沿筒腔结构侧壁成圆周排列，圆孔内布置夹紧螺钉，夹紧螺钉向固定筒的侧壁施加径向抵触力，使固定筒在筒腔结构内倾斜从而改变固定筒的俯仰角度。

3.根据权利要求2所述的可调节的工艺腔室终点检测探头的固定装置，其特征在于：所述的敞口部的轴向中心处向圆心处收拢，敞口部以收拢的中心处形成左敞口部及右敞口部；左敞口部及右敞口部成漏斗形，左敞口部或右敞口部的外圆周面上设有圆孔；所述的凸起位于敞口部收拢的中心处内壁，该凸起形成调节固定筒俯仰的支点。

4.根据权利要求2所述的可调节的工艺腔室终点检测探头的固定装置，其特征在于：所述的平板部上设有长槽孔，长槽孔靠近平板部的边缘。

5.根据权利要求1所述的可调节的工艺腔室终点检测探头的固定装置，其特征在于：所述的观察窗外侧设有用于固定调节座的固定法兰。

6.根据权利要求2所述的可调节的工艺腔室终点检测探头的固定装置，其特征在于：所述的固定筒的一端为开口端，固定筒的另一端为探头的固定端，探头的连接线通过固定筒的开口端延伸至外部。

7.根据权利要求2所述的可调节的工艺腔室终点检测探头的固定装置，其特征在于：所述的固定筒的外侧壁设有刻度标尺。